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龙图腾网获悉中国科学院上海微系统与信息技术研究所申请的专利一种MEMS微镜加固结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119291919B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411349875.2，技术领域涉及：G02B26/08；该发明授权一种MEMS微镜加固结构是由武震宇;汪洋;张程;李安娜;张家昌设计研发完成，并于2024-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种MEMS微镜加固结构在说明书摘要公布了：本申请提供一种MEMS微镜加固结构。该MEMS微镜加固结构包括支撑座和设置于支撑座上表面的框架，框架为敞口设置的中空结构；在第一方向上，镜面依次通过第一弹性结构、第一致动器悬臂与框架连接；在第二方向上，镜面依次通过第二弹性结构、第二致动器悬臂与框架连接；支撑座的上表面设置止挡器，且止挡器位于镜面正下方。通过设置止挡器，可以限制MEMS微镜在第三方向的大幅度位移，避免大量程振动和冲击造成的机械损坏。

本发明授权一种MEMS微镜加固结构在权利要求书中公布了：1.一种MEMS微镜加固结构，其特征在于，包括： 支撑座； 框架，所述框架为中空结构，围绕所述支撑座的四周固定设置于所述支撑座的上表面； 镜面，沿第三方向，所述框架的中心线与所述镜面的中心线重合； 第一致动器悬臂和第二致动器悬臂，沿第一方向，以所述镜面为对称中心，两个所述第一致动器悬臂对称设置于所述镜面的两侧；所述第一致动器悬臂的一端与所述镜面连接，另一端与所述框架连接；沿第二方向，以所述镜面为对称中心，两个所述第二致动器悬臂对称设置于所述镜面的两侧；所述第二致动器悬臂的一端与所述镜面连接，另一端与所述框架连接；沿第三方向，所述第一致动器悬臂、所述第二致动器悬臂和所述镜面均与所述支撑座的上表面具有间距；所述第一方向、所述第二方向、及所述第三方向相互垂直； 第一弹性结构和第二弹性结构，所述第一弹性结构设置于所述镜面与所述第一致动器悬臂之间；所述第二弹性结构设置于所述镜面与所述第二致动器悬臂之间； 其中，所述支撑座的上表面且位于所述框架内设置有止挡器，所述止挡器位于所述镜面的下方，所述止挡器在所述支撑座上表面的投影小于所述镜面在所述支撑座上表面的投影，所述止挡器的中心线与所述镜面的中心线重合，所述止挡器的上表面与所述镜面的下表面之间的最大距离等于所述MEMS微镜的断裂强度的80%相对位移； 激光器和光电探测器，所述激光器和所述光电探测器设置于所述支撑座上表面，且分别设置于所述止挡器的两侧，所述激光器用于向所述镜面的下表面发射光束，所述光电探测器用于接收所述镜面的下表面反射的光束。

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