杭州超然金刚石有限公司余斌获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州超然金刚石有限公司申请的专利一种采用二氧化碳作为碳源的金刚石气相沉积设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120099483B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510394836.2，技术领域涉及：C23C16/27；该发明授权一种采用二氧化碳作为碳源的金刚石气相沉积设备是由余斌;余海粟;朱轶方设计研发完成，并于2025-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种采用二氧化碳作为碳源的金刚石气相沉积设备在说明书摘要公布了：本申请提供了一种采用二氧化碳作为碳源的金刚石气相沉积设备，涉及金刚石气相沉积技术领域。包括：微波系统，用以产生微波；等离子反应腔，包括腔体和可升降的基片台；所述腔体的中部设置有竖直延伸的空心筒，空心筒的轴心正对基片台，所述空心筒的顶部经第一平板连接至腔体的内侧壁，第一平板上设置有若干第一通孔，所述第一通孔经管道连接至出气口；基片台的下方设置有凸台，在基片台上升的过程中，所述凸台与空心筒的内壁相贴，形成隔离；所述凸台与第一平板之间设置有用以维持凸台高度的连接机构。本发明将腔体隔离成两部分，避免反应气体即二氧化碳进入到基片台下方的位置，同时消除了重合面积的限制。
本发明授权一种采用二氧化碳作为碳源的金刚石气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种采用二氧化碳作为碳源的金刚石气相沉积设备，其特征在于，包括： 微波系统，用以产生微波，所述微波进入等离子反应腔内，将二氧化碳激发成等离子体球； 等离子反应腔，包括腔体和可升降的基片台； 所述腔体上设置有进气口和出气口，所述进气口用以通入二氧化碳；所述腔体的中部设置有竖直延伸的空心筒，空心筒的轴心正对基片台，所述空心筒的顶部经第一平板连接至腔体的内侧壁，所述第一平板上设置有若干第一通孔，所述第一通孔经管道连接至出气口； 所述基片台的下方设置有凸台，在基片台上升的过程中，所述凸台与空心筒的内壁相贴，形成隔离；所述凸台与第一平板之间设置有用以维持凸台高度的连接机构。
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