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龙图腾网获悉中国科学院上海光学精密机械研究所申请的专利一种基于波段自适应宽光谱膜层厚度监控的镀膜方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120249919B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510327332.9，技术领域涉及：C23C14/54；该发明授权一种基于波段自适应宽光谱膜层厚度监控的镀膜方法是由陆叶盛;邵建达;王胭脂;陈宇;刘博通;朱晔新;孙建;邵宇川;张伟丽;李大伟设计研发完成，并于2025-03-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于波段自适应宽光谱膜层厚度监控的镀膜方法在说明书摘要公布了：一种基于波段自适应宽光谱膜层厚度监控的镀膜方法，旨在提高光学薄膜的镀膜质量和效率，通过逐层设计光学薄膜结构，并利用膜系设计软件计算透过率光谱，以评估厚度变化对光学性能的影响；在镀膜过程中，采用波段自适应监控技术，根据每层薄膜的特性和镀膜机的性能，自适应地选择高敏感度的监控波长，实现宽光谱范围内的膜层厚度精确监控。本发明针对设计光学薄膜逐层堆叠计算当前膜层厚度偏差对当前膜层透过率的影响程度，逐层获得透过率光谱对膜层厚度偏差的敏感度，并设置敏感度阈值，选取高敏感波长作为监控波长，从而提升抑制监控信噪比，提升膜层厚度沉积精度。

本发明授权一种基于波段自适应宽光谱膜层厚度监控的镀膜方法在权利要求书中公布了：1.一种基于波段自适应宽光谱膜层厚度监控的镀膜方法，其特征在于：该方法包括以下步骤： S1.设计光学薄膜并计算透过率光谱 根据目标光学性能需求Txλ，设计光学薄膜的结构，包括确定薄膜的总层数N，每层薄膜的物理厚为Pn； 利用膜系设计软件计算只包含前n层薄膜的透过率光谱为Tnλ，n为当前沉积层数，且n≤N； 对于第n层薄膜，分别计算其物理厚度增加ΔP和减少-ΔP时的透过率光谱Tn1λ和Tn2λ； S2.监控波段逐层自适应修正： 设定宽光谱监控波段区间[λ1,λ2]； 针对所设计光学薄膜的每一层，从λ1开始，每间隔Δλ计算区间[λ1,λ2]内的Tn1λ和Tn2λ； 计算光谱对应膜厚偏差的敏感度ESnλ，公式如下： 选择ESnλ≤ESn时的波长作为有效监控波长，其中，ESn为预设敏感度阈值； 对于每层薄膜，得到一个有效监控波长集合； S3.设置宽光谱膜层厚度有效监控波长并镀膜： 将所设计光学薄膜结构输入镀膜机； 采用宽光谱拟合膜层厚度监控系统，并逐层设置有效监控波长Λn作为第n层的宽光谱膜层厚度监控波长； 将监控基片和待镀膜基片以及靶材放入镀膜机真空室，进行预处理； 启动镀膜机进行镀膜，并利用有效监控波长实时监控膜层厚度的变化。

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