株式会社荏原制作所芹沢祐太郎获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社荏原制作所申请的专利镀覆装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120418483B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202480005547.2,技术领域涉及:C25D17/10;该发明授权镀覆装置是由芹沢祐太郎设计研发完成,并于2024-06-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本镀覆装置在说明书摘要公布了:本发明提供一种镀覆装置。该镀覆装置具备:基板保持架,构成为能够在镀覆中绕第一旋转轴旋转;阳极;电阻体,是电场调整用的电阻体,具备与上述电阻体的阳极侧及基板保持架侧连通的多个贯通孔;以及至少一个可旋转部件,配置在上述阳极与上述电阻体之间,用于电场调整,上述至少一个可旋转部件分别构成为能够绕沿与上述第一旋转轴交叉的方向延伸的第二旋转轴旋转,上述至少一个可旋转部件分别构成为,从上述第一旋转轴延伸的方向观察,能够在第一位置和第二位置之间旋转,上述第一位置是与上述电阻体的上述多个贯通孔的一部分重叠的位置,上述第二位置与上述第一位置相比各个上述可旋转部件与上述多个贯通孔的重叠较小。
本发明授权镀覆装置在权利要求书中公布了:1.一种镀覆装置,其特征在于,具备: 镀覆槽; 基板保持架,构成为保持基板且能够在镀覆中绕第一旋转轴旋转; 阳极,以与由所述基板保持架保持的所述基板对置的方式配置在所述镀覆槽内; 电阻体,是配置在所述阳极与所述基板保持架之间的电场调整用的电阻体,具备与所述电阻体的阳极侧及基板保持架侧连通的多个贯通孔;以及 多个可旋转部件,配置在所述阳极与所述电阻体之间,用于电场调整, 所述多个可旋转部件分别构成为能够绕沿与所述第一旋转轴交叉的方向延伸的第二旋转轴旋转, 所述多个可旋转部件分别构成为,从所述第一旋转轴延伸的方向观察,能够在第一位置和第二位置之间旋转,所述第一位置是与所述电阻体的所述多个贯通孔的一部分重叠的位置,所述第二位置与所述第一位置相比各个所述可旋转部件与所述多个贯通孔的重叠较小, 当所述多个可旋转部件分别处于规定的旋转位置时,所述多个可旋转部件一体构成屏蔽镀覆时的电场的板状的屏蔽部件, 所述板状的屏蔽部件为圆环状。
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