广州市尤特新材料有限公司周志宏获国家专利权
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龙图腾网获悉广州市尤特新材料有限公司申请的专利一种用于半导体设备的高导热钨镍铬溅射靶材制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120485575B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510565882.4，技术领域涉及：C22C1/05；该发明授权一种用于半导体设备的高导热钨镍铬溅射靶材制备方法是由周志宏;周昭寅;刘青雄设计研发完成，并于2025-04-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于半导体设备的高导热钨镍铬溅射靶材制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于半导体设备的高导热钨镍铬溅射靶材制备方法，包括以下步骤基体的选择：将钨、镍和铬按照重量比65:28:7共混均匀制成基体；将基体中加入基体总量10‑15%的纳米添加剂、基体总量2‑5%的稀土剂，然后混匀球磨充分，得到球磨体。本发明钨镍铬溅射靶材采用钨、镍和铬配合制成基体，同时加入的纳米添加剂调和稀土剂经过烧结改进制成的靶材介电性、导热性的平衡协调改性，以及抗辐照稳定性效果显著。
本发明授权一种用于半导体设备的高导热钨镍铬溅射靶材制备方法在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体设备的高导热钨镍铬溅射靶材制备方法，其特征在于，包括以下步骤 步骤一，基体的选择：将钨、镍和铬按照重量比65:28:7共混均匀制成基体； 步骤二，将基体中加入基体总量10-15%的纳米添加剂、基体总量2-5%的稀土剂，然后混匀球磨充分，得到球磨体； 步骤三，将球磨体热压烧结改进处理，即可得到靶材； 所述纳米添加剂的制备方法为： 将3-5份纳米二氧化钛、1-2份硅烷偶联剂KH550共混加入到5-8份氮化铝液中超声处理，再抽滤、干燥，得到纳米添加剂； 其中氮化铝液的制备方法为： 将氮化铝、纳米钛酸铋和硅酸钠溶液按照重量比2-4:1：4-6共混均匀，得到氮化铝液； 所述稀土剂的制备方法为： 将稀土氧化镧、稀土氧化铈和氧化钕按照重量比3:2：1混匀，再热处理，处理结束，得到稀土剂。
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