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株式会社荏原制作所富田正辉获国家专利权

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龙图腾网获悉株式会社荏原制作所申请的专利镀覆装置、以及将镀覆槽划分为阳极室和阴极室的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120835944B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202480012219.5,技术领域涉及:C25D17/06;该发明授权镀覆装置、以及将镀覆槽划分为阳极室和阴极室的方法是由富田正辉;山本健太郎设计研发完成,并于2024-03-07向国家知识产权局提交的专利申请。

镀覆装置、以及将镀覆槽划分为阳极室和阴极室的方法在说明书摘要公布了:本发明旨在使面朝下式的镀覆装置内的隔膜等的维护变得容易。一种镀覆装置,其具备:镀覆槽,用于保持镀覆液;基板保持架,使被镀覆面朝下地保持基板;以及阳极保持架组装体,经由上述镀覆槽的侧壁的开口,在水平方向上拉拔自如地安装于上述镀覆槽,且具有在中央部具备一个或多个开口的阳极保持架、安装于上述阳极保持架的阳极、以及在上述阳极的上方安装于上述阳极保持架的隔膜,上述阳极保持架组装体具有:将上述镀覆槽内相对于外部密封的一个或多个密封面、和将上述镀覆槽内划分为上下室的一个或多个密封面。

本发明授权镀覆装置、以及将镀覆槽划分为阳极室和阴极室的方法在权利要求书中公布了:1.一种镀覆装置,其中,具备: 镀覆槽,用于保持镀覆液; 基板保持架,使被镀覆面朝下地保持基板;以及 阳极保持架组装体,经由所述镀覆槽的侧壁的开口,在水平方向上拉拔自如地安装于所述镀覆槽,且具有在中央部具备一个或多个开口的阳极保持架、安装于所述阳极保持架的阳极、以及在所述阳极的上方安装于所述阳极保持架的隔膜, 所述阳极保持架组装体具有:将所述镀覆槽内相对于外部密封的一个或多个密封面、和将所述镀覆槽内划分为上下室的一个或多个密封面, 将所述镀覆槽内划分为上下室的一个或多个密封面具有:第一密封面,将所述隔膜与所述阳极保持架之间密封;和第二密封面,将所述阳极保持架的外周部与所述镀覆槽之间密封。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人株式会社荏原制作所,其通讯地址为:日本;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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