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龙图腾网获悉昆山厚声电子工业有限公司申请的专利一种铜镍电阻抗氧化层溅射镀膜压力稳定方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120945330B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511100681.3，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权一种铜镍电阻抗氧化层溅射镀膜压力稳定方法及系统是由王腾慰;彭荣根;施宏泽;徐玉花;王子龙;潘欣然设计研发完成，并于2025-08-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种铜镍电阻抗氧化层溅射镀膜压力稳定方法及系统在说明书摘要公布了：本发明涉及溅射镀膜技术领域，提出了一种铜镍电阻抗氧化层溅射镀膜压力稳定方法及系统，包括：在抗氧化层溅射镀膜过程中采集真空度和温度；预设的真空度标准范围，确定采集时刻的真空度特征值、异常变化趋势差异、调整必要性，根据调整必要性确定调整采集时刻；确定调整采集时刻的调控幅度，建立温度‑调控幅度模型，根据温度‑调控幅度模型和调整采集时刻的调控幅度，调节调整采集时刻的温度，实现铜镍电阻抗氧化层溅射镀膜过程中的压力稳定。本发明可实现铜镍电阻抗氧化层溅射镀膜过程中，压力的实时稳定。

本发明授权一种铜镍电阻抗氧化层溅射镀膜压力稳定方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种铜镍电阻抗氧化层溅射镀膜压力稳定方法，其特征在于，该方法包括以下步骤： 在抗氧化层溅射镀膜过程中采集不同采集时刻的真空度和温度； 根据采集时刻的真空度分别与预设的真空度标准范围的下限和上限之间的差异，确定采集时刻的真空度特征值，根据采集时刻之前相邻的采集时刻，确定采集时刻的前相邻时刻，根据采集时刻和前相邻时刻的真空度特征值之间的差异，确定采集时刻的异常变化趋势差异，根据采集时刻的异常变化趋势与真空度，以及采集时刻和前相邻时刻的异常变化趋势差异之间的差异，确定采集时刻的调整必要性，根据调整必要性确定调整采集时刻，所述调整采集时刻为调整真空度的采集时刻； 根据调整采集时刻的异常变化趋势与预设的真空度标准范围的上下限的取值的差异、调整采集时刻与相邻采集时刻的真空度的差异、调整采集时刻的调整必要性，确定调整采集时刻的调控幅度，根据预设的不同的真空度和温度计算对应的调控幅度，并建立温度-调控幅度模型，根据温度-调控幅度模型和调整采集时刻的调控幅度，调节调整采集时刻的温度，实现铜镍电阻抗氧化层溅射镀膜过程中的压力稳定； 所述真空度特征值的计算式为： 其中，表示第个采集时刻的真空度特征值；表示第个采集时刻的真空度； 表示预设的真空度标准范围的下限；表示预设的真空度标准范围的上限； 所述采集时刻的异常变化趋势差异的确定方法为：将任意一个采集时刻记为目标采集时刻，将目标采集时刻之前相邻的第一预设数量个采集时刻，记为目标采集时刻的前相邻时刻； 将与目标采集时刻之间的时间间隔最大的前相邻时刻，记为目标采集时刻的第一前相邻时刻，将目标采集时刻与目标采集时刻的第一前相邻时刻的真空度特征值的差值，记为目标采集时刻的第一差值；将目标采集时刻的所有前相邻时刻和目标采集时刻的真空度特征值的极差，记为目标采集时刻的第一极差；将目标采集时刻的第一差值与第一极差的比值，记为目标采集时刻的异常变化趋势； 将目标采集时刻与目标采集时刻的前一个相邻的采集时刻的异常变化趋势的差值，记为目标采集时刻的异常变化趋势差异； 所述采集时刻的调整必要性的具体获取方法为： 将目标采集时刻的前相邻时刻的异常变化趋势差异中与目标采集时刻的异常变化趋势差异的正负符号相反的数量，记为目标采集时刻的第一数量，将目标采集时刻的前相邻时刻的数量与目标采集时刻的第一数量的比值，记为目标采集时刻的第一比值； 将目标采集时刻的异常变化趋势差异与异常变化趋势的绝对值的比值，记为目标采集时刻的第二比值； 当目标采集时刻的异常变化趋势大于等于0时，将目标采集时刻的第一特征值赋值为真空度标准范围的上限，当目标采集时刻的异常变化趋势小于0时，将目标采集时刻的第一特征值赋值为真空度标准范围的下限，将目标采集时刻的真空度与第一特征值的差值的绝对值的倒数，记为目标采集时刻的第一倒数； 将目标采集时刻的第一比值、第二比值与第一倒数的正相关处理结果，记为目标采集时刻的调整必要性； 所述根据调整必要性确定调整采集时刻，包括的具体方法为： 当采集时刻的调整必要性大于调整阈值时，将采集时刻记为调整采集时刻； 所述根据调整采集时刻的异常变化趋势与预设的真空度标准范围的上下限的取值的差异、调整采集时刻与相邻采集时刻的真空度的差异、调整采集时刻的调整必要性，确定调整采集时刻的调控幅度，包括的具体方法为： 根据调整采集时刻的异常变化趋势与预设的真空度标准范围的上下限的取值的差异，确定调整采集时刻的第二特征值； 根据调整采集时刻与相邻采集时刻的真空度的差异，确定调整采集时刻的真空度均差； 确定调整采集时刻的调控幅度，计算式为： 其中，表示调整采集时刻的调控幅度；表示调整采集时刻的第二特征值；表示调整采集时刻的真空度；表示归一化函数；表示调整采集时刻 的调整必要性；表示以自然常数为底数的指数函数；表示调整采集时刻的 真空度均差； 所述根据预设的不同的真空度和温度计算对应的调控幅度，并建立温度-调控幅度模型，包括的具体方法为： 预设不同的真空度和温度，计算预设的真空度对应的调控幅度，以预设的真空度对应的预设的温度为因变量，以预设的真空度对应的调控幅度为自变量，进行曲线拟合，获取温度-调控幅度模型。

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