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山东芯源微电子有限公司王照宇获国家专利权

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龙图腾网获悉山东芯源微电子有限公司申请的专利一种基于区块链的半导体膜扩散质量溯源方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121012619B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511259180.X,技术领域涉及:H04L9/00;该发明授权一种基于区块链的半导体膜扩散质量溯源方法及系统是由王照宇;王锡康;汪良恩;姜兰虎设计研发完成,并于2025-09-04向国家知识产权局提交的专利申请。

一种基于区块链的半导体膜扩散质量溯源方法及系统在说明书摘要公布了:本发明涉及区块链技术领域,尤其是涉及一种基于区块链的半导体膜扩散质量溯源方法及系统。包括构建区块链主网及与其关联的多个子网,通过节点经济担保的可信绑定机制对主网与子网进行连接,在所述区块链主网中部署半导体膜扩散工艺的标准化溯源模板;通过部署于产线的传感网络采集工序参数与质量数据,经边缘计算节点预处理后分类上传至相应子网;通过部署于主网的质量异常处理智能合约,基于所述标准化模板关联多源数据,所述智能合约的执行过程包含对数据的篡改风险评估、局部拥塞风险评估和冲突可能性评估;解决现有技术中数据可信度与安全性不足、异常溯源效率低下、缺少多维度风险评估的问题。

本发明授权一种基于区块链的半导体膜扩散质量溯源方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种基于区块链的半导体膜扩散质量溯源方法,其特征在于,包括: 构建区块链主网及与其关联的多个子网,通过节点经济担保的可信绑定机制对主网与子网进行连接,所述子网包括用于存储扩散工序过程数据的设备数据子网和用于存储质量性能检测数据的质量检测子网; 在所述区块链主网中部署半导体膜扩散工艺的标准化溯源模板,所述标准化溯源模板包括多维度的结构化字段集,并通过字段间关联验证进行判断,字段间关联验证判断未通过的数据将被标记为待补全并暂停数据上传,直至关联字段数据补充完整并经再验证通过; 通过部署于产线的传感网络采集工序参数与质量数据,经边缘计算节点预处理后分类上传至相应子网; 通过部署于主网的质量异常处理智能合约,基于所述标准化溯源模板关联多源数据,对质量异常进行判定及分级处置,所述智能合约的执行过程包含对数据的多维度风险评估,多维度风险评估包括篡改风险评估、局部拥塞风险评估和冲突可能性评估; 所述质量异常处理智能合约被配置有动态质量阈值库,所述动态质量阈值库基于晶圆材质类型、膜层类型及工艺规范动态设定质量阈值上限和下限,所述对质量异常进行判定及分级处置基于动态质量阈值库,动态质量阈值库的阈值范围由以下模型确定:,其中,为晶圆材质类型,为膜层类型,为历史良品数据统计特征,为基于梯度提升树训练的阈值模型,若质量检测数据满足或,则判定为异常,并进一步关联工序参数波动以区分异常类型,所述阈值模型采用双输出分支的梯度提升树结构; 质量异常处理智能合约执行时,自动获取所述标准化溯源模板中的质量检测字段数据,将其与对应的动态阈值进行比对,判定是否存在异常; 若判定异常,则质量异常处理智能合约进一步关联并分析异常数据点对应的工序参数,识别偏离标准的异常工序参数,并基于预定义的异常参数映射规则确定质量异常的根本原因,生成结构化追溯报告并触发链上报警事件; 基于增强型角色访问控制模型实现多层级用户的数据访问与控制。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人山东芯源微电子有限公司,其通讯地址为:250200 山东省济南市章丘区埠村街道明水经济开发区清绣大街479号厂区内西侧车间;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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