爱特微(张家港)半导体技术有限公司;苏州同冠微电子有限公司尹锺晚获国家专利权
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龙图腾网获悉爱特微(张家港)半导体技术有限公司;苏州同冠微电子有限公司申请的专利一种晶圆加工用甩干机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121612048B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610152005.9，技术领域涉及：F26B11/18；该发明授权一种晶圆加工用甩干机是由尹锺晚;吴侊勲;金基贤;李承浩设计研发完成，并于2026-02-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆加工用甩干机在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体加工领域，具体涉及一种晶圆加工用甩干机。其包括箱体、顶盖、输送管和若干引导板，箱体内部具有甩干腔，甩干腔内转动设置有甩干支架，甩干支架上圆周均布有若干置物框，晶圆设置于置物框，顶盖铰接于箱体顶部，输送管设置于顶盖，若干引导板设置于输送管，引导板沿输送管的圆周方向均匀分为多组，每组多个，同一组的引导板上下间隔排布；所有的引导板均能够绕水平轴线转动。本发明中，引导板在初始状态下处于向下折叠的状态，便于顶盖的打开和盖合，在甩干过程中，引导板处于展开状态，距离晶圆更近，使得大部分药液或气体能够喷射进晶圆的层间缝隙中，进而能够更加充分的覆盖晶圆表面，提高对晶圆的清洁效果。
本发明授权一种晶圆加工用甩干机在权利要求书中公布了：1.一种晶圆加工用甩干机，其特征在于，包括： 箱体，其内部具有甩干腔，所述甩干腔内转动设置有甩干支架，所述甩干支架上圆周均布有若干置物框，所述置物框能够翻转，晶圆设置于所述置物框； 顶盖，其铰接于所述箱体顶部，所述顶盖能够打开或封堵所述甩干腔的顶部开口； 输送管，其设置于所述顶盖，用以向所述甩干腔内输送液体或气体； 若干引导板，其设置于所述输送管，所有所述引导板沿所述输送管的圆周方向均匀分为多组，每组多个，同一组的所述引导板上下间隔排布；所有的所述引导板均能够绕水平轴线转动，且在初始状态时向下折叠，在输送管向晶圆喷洒药液或喷洒气体时向上展开且展开后与晶圆对应； 连接管，其与所述引导板一一对应，且设置于所述引导板靠近所述输送管的一端，所述连接管与所述输送管连通且配置成将药液或者气体输送至所述引导板。
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