甘肃光轩高端装备产业有限公司;北京盛达众安科技有限公司李青获国家专利权
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龙图腾网获悉甘肃光轩高端装备产业有限公司;北京盛达众安科技有限公司申请的专利晶圆研磨机载盘传动机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224115771U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520661553.5，技术领域涉及：B24B7/22；该实用新型晶圆研磨机载盘传动机构是由李青;李赫然;胡涛;崔海舰;潘宁;曹海勇设计研发完成，并于2025-04-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆研磨机载盘传动机构在说明书摘要公布了：本申请涉及一种晶圆研磨机载盘传动机构，包括：一级传动组件、二级传动组件和三级传动组件。一级传动组件包括一级齿轮和主轴，一级齿轮套设在主轴的周向外侧。二级传动组件包括二级齿轮和无动力齿轮轴，二级齿轮和一级齿轮相啮合，二级齿轮套设在无动力齿轮轴的周向外侧。三级传动组件包括三级齿轮和转轴，三级齿轮和二级齿轮相啮合，三级齿轮套设在转轴的周向外侧，转轴和载盘相连接。本申请的技术方案有效地解决了现有技术中在对晶圆研磨时效率低，运行不够平稳的问题。
本实用新型晶圆研磨机载盘传动机构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆研磨机载盘传动机构，其特征在于，包括： 一级传动组件10，所述一级传动组件10包括一级齿轮11和主轴12，所述一级齿轮11套设在所述主轴12的周向外侧； 二级传动组件20，所述二级传动组件20包括二级齿轮21和无动力齿轮轴22，所述二级齿轮21和所述一级齿轮11相啮合，所述二级齿轮21套设在所述无动力齿轮轴22的周向外侧； 三级传动组件30，所述三级传动组件30包括三级齿轮31和转轴32，所述三级齿轮31和所述二级齿轮21相啮合，所述三级齿轮31套设在所述转轴32的周向外侧，所述转轴32和载盘100相连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人甘肃光轩高端装备产业有限公司;北京盛达众安科技有限公司，其通讯地址为：741000 甘肃省天水市天水经济技术开发区社棠工业园区渭水路；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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