布劳恩惰性气体系统(上海)有限公司何飞获国家专利权
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龙图腾网获悉布劳恩惰性气体系统(上海)有限公司申请的专利一种多层多开合挡板装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224119089U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520720184.2,技术领域涉及:C23C14/22;该实用新型一种多层多开合挡板装置是由何飞;倪佳明设计研发完成,并于2025-04-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多层多开合挡板装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域,尤其涉及一种多层多开合挡板装置,包括真空腔体及开合挡板组件,每组组件包括驱动件、转动轴、上层主动挡板和下层从动挡板,驱动件位于真空腔体外壁,转动轴伸入腔室内并穿过支板连接上层主动挡板一端;下层从动挡板一端通过连接件转动套设于所述转动轴外;上层主动挡板内外侧设有销钉,下层从动挡板对应位置设有卡槽。开合过程中,驱动件驱动上层挡板旋转,通过销钉与卡槽的机械联动带动下层从动挡板动作:打开时,以重叠方式停于样品装夹部外侧;闭合时,错开形成遮挡面,确保无泄漏遮蔽。本实用新型采用双层开合挡板联动设计,减少横向空间占用,避免腔室扩容需求,适配紧凑型设备,降低制造成本。
本实用新型一种多层多开合挡板装置在权利要求书中公布了:1.一种多层多开合挡板装置,其特征在于:包括周向均匀分布的多组开合挡板组件,每组所述开合挡板组件包括驱动件、转动轴、上层主动挡板和下层从动挡板,所述转动轴传动连接于所述驱动件的下方,所述转动轴的底端所述上层主动挡板的一端传动连接,所述下层从动挡板的一端通过连接件转动连接于所述转动轴底部,所述上层主动挡板位于所述下层从动挡板的上方; 所述上层主动挡板的内外两侧分别设有销钉,所述下层从动挡板的内外两侧对应设有与所述销钉适配的卡槽; 当驱动件驱动上层主动挡板向内侧旋转一定角度后,其外侧销钉嵌入下层从动挡板外侧的卡槽并推动下层从动挡板一同内转,以部分错开方式遮挡位于上层主动挡板上方的样品装夹部,形成关闭状态; 当驱动件驱动上层主动挡板向外侧旋转一定角度后,其内侧销钉嵌入下层从动挡板内侧的卡槽内并推动下层从动挡板一同外转,以重叠方式停于样品装夹部外侧,形成打开状态。
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