福建省金石能源股份有限公司赖礼铭获国家专利权
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龙图腾网获悉福建省金石能源股份有限公司申请的专利一种PVD真空腔室内带电离子消除装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224119090U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520764468.1,技术领域涉及:C23C14/22;该实用新型一种PVD真空腔室内带电离子消除装置是由赖礼铭;刘义军设计研发完成,并于2025-04-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种PVD真空腔室内带电离子消除装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种PVD真空腔室内带电离子消除装置,包括导电轮组件、导向轮支座组件、安装连接座、腔体、载板、传输轮组件,所述导电轮组件通过安装连接座与导向轮支座组件连接固定,所述所述导电轮组件包括导电座、导电轮、摆臂、扭簧、防护套,所述导电座固锁在安装连接座上,所述导电座两侧对应设有支撑板,所述摆臂设有两个,摆臂底部通过固定销轴对应安装在支撑板内侧壁,固定销轴在两个摆臂中间段上依次套设有扭簧和防护套,所述扭簧两端卡接在支撑板上,所述摆臂顶部通过导电轮销轴安装导电轮,导电轮与载板侧面的C型钢表面滚动接触。通过导电轮组件将带电离子导出腔体外部,减少粉尘的产生,避免对磁流体的损伤,避免打火现象产生。
本实用新型一种PVD真空腔室内带电离子消除装置在权利要求书中公布了:1.一种PVD真空腔室内带电离子消除装置,其特征在于:包括导电轮组件1、导向轮支座组件2、安装连接座3、腔体4、载板5、传输轮组件6,所述载板5通过传输轮组件6在腔体4内传动,所述导向轮支座组件2安装于腔体4内部底板的左右两侧,所述导电轮组件1通过安装连接座3与导向轮支座组件2连接固定,所述导电轮组件1包括导电座11、导电轮12、摆臂15、扭簧16、防护套17,所述导电座11固锁在安装连接座3上,所述导电座11两侧对应设有支撑板18,所述摆臂15设有两个,摆臂15底部通过固定销轴14对应安装在支撑板18内侧壁,所述固定销轴14在两个摆臂中间段上依次套设有扭簧16和防护套17,所述扭簧16两端卡接在支撑板18上,所述摆臂15顶部通过导电轮销轴13安装导电轮12,所述导电轮12与载板侧面的C型钢51表面滚动接触。
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