中科元萃(江苏)装备技术有限公司詹铁锤获国家专利权
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龙图腾网获悉中科元萃(江苏)装备技术有限公司申请的专利一种低温磁控溅射平面阴极结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224119095U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520227132.1，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种低温磁控溅射平面阴极结构是由詹铁锤;梁得刚;徐小明;陆海峰设计研发完成，并于2025-02-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种低温磁控溅射平面阴极结构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及磁控溅射技术领域，公开了一种低温磁控溅射平面阴极结构，包括阴极法兰，所述阴极法兰的内侧设置有磁靴，所述磁靴的顶端设置有冷却板，所述冷却板上通过限位组件安装有靶材，所述阴极法兰的顶部设置有靶材挡板，所述阴极法兰靶材挡板内部设置有第一水冷通道，且阴极法兰和靶材挡板内的第一水冷通道相连通，本装置通过设置的第一水冷通道，可以配合第二水冷通道使用，再第二水冷通道平对靶材背部降温的同时，还可以对磁控溅射时产生的热量进行吸收，能够实现除了工作靶面的全面冷却，使得基板受到的热量只有溅射沉积产生，有效降低靶材溅射过程中的热辐射，实现低温镀膜。
本实用新型一种低温磁控溅射平面阴极结构在权利要求书中公布了：1.一种低温磁控溅射平面阴极结构，包括阴极法兰1，所述阴极法兰1的内侧设置有磁靴2，所述磁靴2的顶端设置有冷却板4，所述冷却板4上通过限位组件安装有靶材6，所述阴极法兰1的顶部设置有靶材挡板7，其特征在于：所述阴极法兰1和靶材挡板7内部设置有第一水冷通道12，且阴极法兰1和靶材挡板7内的第一水冷通道12相连通。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中科元萃(江苏)装备技术有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市高新区嘉陵江路198号太湖光子科技园2号楼803-21；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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