光驰科技(上海)有限公司罗欣获国家专利权
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龙图腾网获悉光驰科技(上海)有限公司申请的专利基板架及镀膜装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224119096U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202323486071.0，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型基板架及镀膜装置是由罗欣;薛聪颖;龙汝磊;吴萍设计研发完成，并于2023-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板架及镀膜装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种基板架及镀膜装置，所述基板架用于装载基板，所述基板架包括：第一基板装载部，用于承载所述基板；第二基板装载部，间隔设置在所述第一基板装载部上方；第一连接部，用于连接所述第一基板装载部和所述第二基板装载部，所述第一连接部、所述第一基板装载部和所述第二基板装载部之间形成的空间用于容纳所述基板；第二连接部，设置在所述第二基板装载部远离所述第一基板装载部的一侧，用于连接所述第二基板装载部和所述基板的加工腔室。本实用新型增强了基板架和基板的稳定性，提高了部件装配同心度。
本实用新型基板架及镀膜装置在权利要求书中公布了：1.一种基板架，用于装载基板，其特征在于，所述基板架包括： 第一基板装载部，用于承载所述基板； 第二基板装载部，间隔设置在所述第一基板装载部上方； 第一连接部，用于连接所述第一基板装载部和所述第二基板装载部，所述第一连接部、所述第一基板装载部和所述第二基板装载部之间形成的空间用于容纳所述基板； 第二连接部，设置在所述第二基板装载部远离所述第一基板装载部的一侧，用于连接所述第二基板装载部和所述基板的加工腔室； 其中，所述第一基板装载部包括第一开口和第一边缘，所述第一开口由所述第一边缘围设而成，所述第一开口用于暴露所述基板的待加工面，所述第一边缘设置有至少一个第一对接位，所述第一连接部靠近所述第一基板装载部的一端设置有至少一个第二对接位，所述第一连接部与所述第一基板装载部通过所述第一对接位和所述第二对接位的对接形成连接，所述第一基板装载部、所述第二基板装载部和所述第一连接部所构成的空间用于容纳所述基板。
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