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光驰科技(上海)有限公司罗欣获国家专利权

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龙图腾网获悉光驰科技(上海)有限公司申请的专利基板架及镀膜装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224119097U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202323486114.5,技术领域涉及:C23C14/50;该实用新型基板架及镀膜装置是由罗欣;薛聪颖;龙汝磊;吴萍设计研发完成,并于2023-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。

基板架及镀膜装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种基板架及镀膜装置,所述基板架用于装载基板,所述基板架包括:第一基板装载部,用于承载所述基板;第二基板装载部,间隔设置在所述第一基板装载部上方;第二连接部,设置在所述第二基板装载部远离所述第一基板装载部的一侧,用于连接所述第二基板装载部和所述基板的加工腔室;其中,所述第二连接部包括第一安装座和第二安装座,所述第一安装座与所述第二基板装载部连接,所述第二安装座设置在所述第一安装座远离所述第二基板装载部的一端,且所述第一安装座远离所述第二基板装载部的一端与所述第二安装座可拆卸卡接。本实用新型增强了基板架和基板的稳定性,提高了部件装配同心度。

本实用新型基板架及镀膜装置在权利要求书中公布了:1.一种基板架,用于装载基板,其特征在于,所述基板架包括: 第一基板装载部,用于承载所述基板; 第二基板装载部,间隔设置在所述第一基板装载部上方; 第二连接部,设置在所述第二基板装载部远离所述第一基板装载部的一侧,用于连接所述第二基板装载部和所述基板的加工腔室; 其中,所述第二连接部包括第一安装座和第二安装座,所述第一安装座与所述第二基板装载部连接,所述第二安装座设置在所述第一安装座远离所述第二基板装载部的一端,且所述第一安装座远离所述第二基板装载部的一端与所述第二安装座可拆卸卡接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人光驰科技(上海)有限公司,其通讯地址为:200436 上海市宝山区宝山城市工业园区城银路267, 297号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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