布劳恩惰性气体系统(上海)有限公司何飞获国家专利权
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龙图腾网获悉布劳恩惰性气体系统(上海)有限公司申请的专利一种旋转与升降样品台获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224119099U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520719227.5,技术领域涉及:C23C14/50;该实用新型一种旋转与升降样品台是由何飞设计研发完成,并于2025-04-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种旋转与升降样品台在说明书摘要公布了:本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域,尤其涉及一种旋转与升降样品台,包括用于承载基片的样品台主体、旋转组件和升降组件;旋转组件包括设有第一减速器的旋转驱动件以及转子轴,转子轴的底端与样品台主体连接,旋转驱动件通过第一同步带驱动转子轴旋转,从而带动样品台主体旋转;升降组件包括升降驱动件和安装板,转子轴套设有轴承座,转子轴穿过安装板,轴承座安装在安装板上;安装板的侧边设有多根丝杆,每根丝杆上分别螺纹连接有移动块,移动块内侧与安装板连接,升降驱动件驱动丝杆旋转,使得移动块上下移动,从而带动样品台主体升降。本申请通过旋转组件和升降组件的配合,实现样品台主体的稳定旋转与升降。
本实用新型一种旋转与升降样品台在权利要求书中公布了:1.一种旋转与升降样品台,其特征在于:包括用于承载基片的样品台主体1、以及旋转组件和升降组件; 所述旋转组件包括设有第一减速器3的旋转驱动件以及转子轴8,所述转子轴8的底端与所述样品台主体1连接,所述旋转驱动件通过第一同步带6驱动所述转子轴8,从而带动样品台主体1旋转; 所述升降组件包括升降驱动件和安装板10,所述转子轴8外周套设有轴承座9,所述转子轴8穿过所述安装板10,所述轴承座9安装在安装板10上,所述安装板10位于所述第一同步带6的下方; 所述安装板10的侧边均匀设置有多根丝杆11,每根所述丝杆11上分别螺纹连接有移动块12,所述移动块12内侧与所述安装板10连接,所述升降驱动件驱动所述丝杆11旋转,使得所述移动块12上下移动,从而带动样品台主体1升降。
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