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龙图腾网获悉浙江金砺科技有限公司申请的专利一种MPCVD设备用控温机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224119101U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520733756.0，技术领域涉及：C23C16/27；该实用新型一种MPCVD设备用控温机构是由何克强设计研发完成，并于2025-04-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种MPCVD设备用控温机构在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种MPCVD设备用控温机构，涉及MPCVD设备温控技术领域，包括水循环系统、MPCVD设备、第一冷却单元、第二冷却单元、第一循环水冷却机构和第二循环水冷却机构构成；所述水循环系统包括循环泵机，该泵机通过进水管和出水管形成循环回路；通过采用双路独立冷却单元：中心区配置强化冷却的第一冷却单元，通过高导热系数的冷却介质对等离子体实施梯度降温，有效抑制局部高温诱发的石墨化相变；边缘区则采用动态温控技术控温，避免因过度冷却导致的沉积速率骤降及非晶碳杂质生成；解决了现有MPCVD设备的基片通常采用整体式冷却结构设计，而基板中心与外围分区温度升高速度并不一致，在一定时间后出现温度分布不均匀现象，局部温差引起晶体缺陷的问题。

本实用新型一种MPCVD设备用控温机构在权利要求书中公布了：1.一种MPCVD设备用控温机构，其特征在于：该机构由水循环系统10、MPCVD设备20、第一冷却单元30、第二冷却单元40、第一循环水冷却机构50和第二循环水冷却机构60构成；所述水循环系统10包括固定底板11，其上固定安装有循环泵机12，该泵机通过进水管13和出水管15形成循环回路；进水管13末端设置过滤接头14，出水管15上设有多回折的S弯段16，两管末端均接入蓄水箱17；所述蓄水箱17一侧配置带截止阀19的排水管18；所述MPCVD设备20采用石墨烯-铜复合散热基板21，其上方通过高导热陶瓷螺栓固定连接有钼制载物台22；石墨烯-铜复合散热基板21内部集成有包括第一冷却单元30和第二冷却单元40在内的两组冷却单元；所述第一冷却单元30由发散状布置并中心交汇的第一微通道34构成；所述第二冷却单元40包含多组环形排列的第二微通道44；两组微通道间通过氮化铝绝缘隔热带23实现热隔离；所述第一循环水冷却机构50由固定框架51构成，所述S弯段16固定于该框架内；所述第二循环水冷却机构60通过支架固定于固定底板11上。

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