北京大学深圳研究生院张锦获国家专利权
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龙图腾网获悉北京大学深圳研究生院申请的专利一种用于化学气相沉积的样品定位舟和化学气相沉积装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224119105U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520107083.8,技术领域涉及:C23C16/458;该实用新型一种用于化学气相沉积的样品定位舟和化学气相沉积装置是由张锦;李一鸣;陈召龙;黄子为;胡倩慧雯设计研发完成,并于2025-01-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于化学气相沉积的样品定位舟和化学气相沉积装置在说明书摘要公布了:本申请公开了一种用于化学气相沉积的样品定位舟和化学气相沉积装置。本申请的样品定位舟,包括至少一个坩埚仿形定位槽和若干个衬底仿形定位槽;坩埚仿形定位槽用于放置坩埚,衬底仿形定位槽用于放置衬底。本申请样品定位舟,能够对样品的空间位置进行定量化控制,控制反应原料、反应位点在反应体系的空间位置分布,从而提高化学气相沉积实验的稳定性和可重复性;本申请的样品定位舟保证了化学气相沉积实验过程的进一步定量化控制,能用于多种实验空间的摸索和研究,适用于各类化学气相沉积实验过程和装置,具有很强的实用性。
本实用新型一种用于化学气相沉积的样品定位舟和化学气相沉积装置在权利要求书中公布了:1.一种用于化学气相沉积的样品定位舟,其特征在于:包括至少一个坩埚仿形定位槽2和若干个衬底仿形定位槽3;所述坩埚仿形定位槽2用于放置坩埚,所述衬底仿形定位槽3用于放置衬底。
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