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龙图腾网获悉济宁卓镪机电科技有限公司申请的专利一种MOCVD设备防污结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224119107U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520927011.8，技术领域涉及：C23C16/52；该实用新型一种MOCVD设备防污结构是由赵海标;张继友设计研发完成，并于2025-05-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种MOCVD设备防污结构在说明书摘要公布了：本实用新型属于防污结构技术领域，尤其为一种MOCVD设备防污结构，包括安装舱、多级过滤模块、缓冲导流腔、分区支撑板、密封件，其中，安装舱为矩形盒状结构，其两端分别设有进气口、出气口，多级过滤模块包括粗过滤层、中过滤层、细过滤层，缓冲导流腔位于进气口和粗过滤层之间，缓冲导流腔的内侧设有多级导流板，导流板倾斜设置并交错布置，分区支撑板设置与安装舱的内部，将多级过滤模块划分为多个独立单元区，卡扣锁紧机构包括嵌入安装在分区支撑板侧边的弹性金属片，本装置实现了多层次高效过滤、气流均匀缓冲、快速模块化更换及长期高温耐腐蚀运行，显著提升MOCVD设备运行稳定性、成膜工艺良率及维护效率，具有极高的实用价值与推广前景。

本实用新型一种MOCVD设备防污结构在权利要求书中公布了：1.一种MOCVD设备防污结构，其特征在于：包括安装舱1、多级过滤模块2、缓冲导流腔3、分区支撑板4、卡扣锁紧机构、密封件6，其中，所述安装舱1为矩形盒状结构，其两端分别设有进气口11、出气口12； 所述多级过滤模块2包括粗过滤层21、中过滤层22、细过滤层23，所述粗过滤层21靠近进气口11设置，所述细过滤层23靠近出气口12设置； 所述缓冲导流腔3位于进气口11和粗过滤层21之间，所述缓冲导流腔3的内侧设有多级导流板31，所述导流板31倾斜设置并交错布置； 所述分区支撑板4设置与安装舱1的内部，将多级过滤模块2划分为多个独立单元区； 所述卡扣锁紧机构包括嵌入安装在分区支撑板4侧边的弹性金属片51，所述弹性金属片51的一端与扣座52连接，所述粗过滤层21、中过滤层22、细过滤层23的侧面均设有扣入槽53，所述扣座52扣入扣入槽53中； 所述密封件6包括设置在安装舱1侧面的压板61，所述压板61的一侧设有弹性密封条62，所述压板61与安装舱1之间通过螺栓固定压紧。

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