山东晶镓半导体有限公司;山东大学张雷获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉山东晶镓半导体有限公司;山东大学申请的专利一种大尺寸氮化镓单晶HVPE生长反应器获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224119160U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520611296.4，技术领域涉及：C30B25/12；该实用新型一种大尺寸氮化镓单晶HVPE生长反应器是由张雷;齐占国;王守志;王忠新;李秋波;俞娇仙;王国栋;徐现刚设计研发完成，并于2025-04-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种大尺寸氮化镓单晶HVPE生长反应器在说明书摘要公布了：本实用新型涉及氮化镓单晶生长技术领域，具体涉及一种大尺寸氮化镓单晶HVPE生长反应器。反应器包括炉腔、炉体；炉体包括炉盖、炉筒、炉底盘以及炉筒外部的加热器；炉盖、炉筒、炉底盘之间构成炉腔；炉腔内由上至下依次设置有镓舟和衬底托，镓舟上端与炉盖连接，镓舟用于储存镓并生成氯化镓，衬底托与炉底盘连接；炉底盘外部连接有尾气管道；炉盖上设置有氨气进气管。镓舟中设置有隔离气气管，炉筒内壁处设置有上腔保护套筒和下腔保护套筒，上腔保护套筒与炉筒内壁之间通入保护气。通过炉腔保护套筒以及上腔保护套筒外侧气体吹扫的保护作用，避免多晶氮化镓在炉腔内壁的寄生沉积，延长氮化镓单晶HVPE生长反应器的使用寿命。
本实用新型一种大尺寸氮化镓单晶HVPE生长反应器在权利要求书中公布了：1.一种大尺寸氮化镓单晶HVPE生长反应器，其特征在于，包括炉体1、炉腔2；所述炉体1包括可拆卸连接的炉盖11、炉筒12、炉底盘13以及套设在所述炉筒12外部的加热器14；所述炉盖11、炉筒12、炉底盘13之间构成炉腔2；所述炉腔2内由上至下依次设置有镓舟3和衬底托4，所述镓舟3上端与所述炉盖11连接，镓舟3用于储存镓并生成氯化镓，所述衬底托4与所述炉底盘13连接；所述炉底盘13外部连接有尾气管道5；所述炉盖11上设置有氨气进气管6，所述氨气进气管6一端设置于炉腔2内，另一端延伸至反应器外部。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人山东晶镓半导体有限公司;山东大学，其通讯地址为：250000 山东省济南市中国(山东)自由贸易试验区济南片区彩石街道虎山北路1001号智能传感器(济南)创新中心5-70；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励