深圳市矩阵多元科技有限公司黄政获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市矩阵多元科技有限公司申请的专利一种基片加热器和基片加热装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224124273U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520716446.8，技术领域涉及：H05B3/04；该实用新型一种基片加热器和基片加热装置是由黄政;张晓军;孙守祥;凌日康设计研发完成，并于2025-04-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基片加热器和基片加热装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种基片加热器和基片加热装置，基片加热器包括铠装模块，具有第一真空腔，第一真空腔内设置有发热模块，发热模块的接电端设置于第一真空腔的外部；密封组件，包括第一底盖、密封套和密封圈，发热模块的接电端能够从外凸管、密封圈、密封套的内侧穿过，密封圈的内侧与接电端的外侧抵接以形成密封连接。基片加热装置包括上述的基片加热器和旋转模块，旋转模块包括具有容纳腔的外罩盖、基片托板和旋转驱动件，容纳腔具有第一开口和第三通道，基片托板与外罩盖固定连接，旋转驱动件能够带动外罩盖转动，发热模块设置于容纳腔内，密封组件与外罩盖可转动连接，发热模块的接电端能够从第三通道穿过并与密封组件密封连接。
本实用新型一种基片加热器和基片加热装置在权利要求书中公布了：1.一种基片加热器，其特征在于，包括： 铠装模块100，具有第一真空腔，所述第一真空腔具有可连通外部的第一通道，所述第一真空腔内设置有发热模块110，所述发热模块110的接电端穿过所述第一通道后设置于所述第一真空腔的外部； 密封组件200，包括第一底盖210、密封套220和密封圈230，所述第一底盖210用于盖合所述第一通道，所述第一底盖210设置有外凸管211，所述密封套220套装于所述外凸管211的外侧，所述密封圈230位于所述外凸管211与所述密封套220之间，所述发热模块110的接电端能够从所述外凸管211、所述密封圈230、所述密封套220的内侧穿过，所述密封圈230的内侧与所述接电端的外侧抵接以形成密封连接。
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