东京毅力科创株式会社五十岚玲太获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利处理装置和处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114836732B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210071453.8，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权处理装置和处理方法是由五十岚玲太设计研发完成，并于2022-01-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本处理装置和处理方法在说明书摘要公布了：本发明涉及处理装置和处理方法。提供一种能够调整针对基板的气体供给的面间均匀性的技术。本公开的一形态的处理装置具备：处理容器，其具有大致圆筒形状；喷射器，其沿着所述处理容器的内壁内侧在长度方向上延伸设置，该喷射器具有用于导入处理气体的多个导入口和将自该多个导入口导入的所述处理气体向所述处理容器内喷出的多个气体孔；以及控制部，其使自所述多个导入口向所述喷射器内导入的所述处理气体的流量比变化。
本发明授权处理装置和处理方法在权利要求书中公布了：1.一种处理装置，其中， 该处理装置具备： 处理容器，其具有大致圆筒形状； 喷射器，其沿着所述处理容器的内壁内侧在长度方向上延伸设置，该喷射器具有： 沿着所述处理容器的所述内壁内侧在所述长度方向上延伸设置、并且在上部互相连接的第1直立部和第2直立部， 用于导入处理气体的、包含设于所述第1直立部的下部的第1导入口和设于所述第2直立部的下部的第2导入口的多个导入口，以及 将自该多个导入口导入的所述处理气体向所述处理容器内喷出的多个气体孔；以及 控制部，其使自所述第1导入口向所述第1直立部内导入的所述处理气体相对于自所述第2导入口向所述第2直立部内导入的所述处理气体的流量比变化。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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