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中国科学院近代物理研究所李家庆获国家专利权

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龙图腾网获悉中国科学院近代物理研究所申请的专利电子回旋共振离子源产生脉冲多离子种类束流的方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115568082B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211333121.9,技术领域涉及:H05H1/46;该发明授权电子回旋共振离子源产生脉冲多离子种类束流的方法及系统是由李家庆;孙良亭;曹云;张雪珍设计研发完成,并于2022-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。

电子回旋共振离子源产生脉冲多离子种类束流的方法及系统在说明书摘要公布了:本发明涉及一种电子回旋共振离子源产生脉冲多离子种类束流的方法及系统,其包括等离子体放电室,用于产生和约束等离子体;电子回旋共振离子源磁体设置在离子源腔体外部;微波源设置在离子源腔体注入端,将产生的微波功率传输至等离子体放电室,将等离子体放电室内部存在的气体原子分子等电离,产生所需的等离子体;脉冲式气体馈入系统设置在离子源腔体注入端,用于将单种气体或多种气体馈入离子源腔体内,实现离子源所需气体的精确馈入;离子源冷电子枪设置在离子源腔体注入端,用于阻止等离子体中电子在轴向的逃逸并提供额外冷二次电子注入,以调节离子束引出流强;离子源引出部件设置在离子源腔体引出端,用于引出离子束流。本发明能在离子加速器领域中应用。

本发明授权电子回旋共振离子源产生脉冲多离子种类束流的方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种电子回旋共振离子源产生脉冲多离子种类束流的系统,其特征在于,包括: 等离子体放电室,设置在离子源腔体内,用于产生所需等离子体; 电子回旋共振离子源磁体,设置在离子源腔体外部,用于提供等离子体约束磁场; 微波源,设置在离子源腔体注入端,用于将产生的微波功率传输至所述等离子体放电室,将所述等离子体放电室内部存在的气体原子分子电离,产生所需的等离子体; 脉冲式气体馈入系统,设置在离子源腔体注入端,用于将单种气体或多种气体馈入离子源腔体内,实现离子源所需气体的精确馈入; 离子源冷电子枪,设置在离子源腔体注入端,用于阻止等离子体中轴向电子的逃逸并提供额外冷二次电子注入离子源腔体内,以调节离子束引出流强; 离子源引出部件,设置在离子源腔体引出端,用于引出离子束流; 所述脉冲式气体馈入系统包括气源、气体管路、机械泵、快速脉冲阀和定时控制系统;所述气源为单种气体的气源或多种不同种类气体的气源;所述机械泵经管路与所述等离子体放电室连接,通过所述机械泵将气路输运管道抽取真空;所述气源的输出端经所述快速脉冲阀与所述气体管路的一端连接,所述气体管路的另一端与所述机械泵与所述等离子体放电室之间的管路连接,在该管路上,位于与所述气体管路的连接点两侧,分别设置有另一所述快速脉冲阀连接;各所述快速脉冲阀均与所述定时控制系统连接,由所述定时控制系统控制其工作; 其中,脉冲式气体馈入系统包括≥2条气路,每条气路前端连接≥2种气源;根据需求,通过控制快速脉冲阀实现单种气体馈入、多种气体馈入以及不同种类的气体快速切换馈入;通过定时控制系统控制快速脉冲阀的开合时间和开合时间间隔,从而实现离子源所需气体的精确馈入控制。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院近代物理研究所,其通讯地址为:730013 甘肃省兰州市城关区南昌路509号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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