中山智隆新材料科技有限公司王靓栎获国家专利权
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龙图腾网获悉中山智隆新材料科技有限公司申请的专利一种氧化铟镓钛靶材及其制备方法和应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119306475B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411235843.X,技术领域涉及:C04B35/01;该发明授权一种氧化铟镓钛靶材及其制备方法和应用是由王靓栎;葛春桥;陈露;李强;罗泽宇设计研发完成,并于2024-09-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种氧化铟镓钛靶材及其制备方法和应用在说明书摘要公布了:本发明属于氧化物靶材技术领域,具体公开了一种氧化铟镓钛靶材及其制备方法和应用。本发明的氧化铟镓钛靶材的制备原料按质量份数计包括氧化铟95~99份、氧化镓0.5~2份和二氧化钛0.6~3份。本发明通过在氧化铟基靶材中掺杂合适比例的氧化镓和二氧化钛,可以在保持靶材相对较低的电阻率的前提下,使该靶材制备的氧化物薄膜具备优异的透光性,并且该靶材制备的氧化物薄膜具备较好的机械柔韧性,可以更好地应用于柔性OLEDs。本发明还提供该氧化铟镓钛靶材的制备方法。
本发明授权一种氧化铟镓钛靶材及其制备方法和应用在权利要求书中公布了:1.一种氧化铟镓钛靶材的制备方法,其特征在于,包括以下步骤: S1、按质量份数计,将96.12~97.64份氧化铟、0.67~1.34份氧化镓和1.69~2.54份二氧化钛混合,再加入水、1~5份分散剂和1~5份粘结剂混合研磨; S2、喷雾干燥,造粒得到混合粉体; S3、冷等静压成型,烧结,即得氧化铟镓钛靶材; 其中,所述步骤S3的烧结为,依次在500~600℃保温1~3h,900~1100℃保温3~5h,氧气气氛下1350~1400℃保温6~8h,900~1100℃保温1~3h。
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