济南兰星电子有限公司李浩获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉济南兰星电子有限公司申请的专利一种晶圆自动清洗烘干一体化设备及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120421271B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510851029.9，技术领域涉及：B08B3/12；该发明授权一种晶圆自动清洗烘干一体化设备及方法是由李浩;高飞;魏兴政设计研发完成，并于2025-06-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆自动清洗烘干一体化设备及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆自动清洗烘干一体化设备及方法，涉及晶圆清洗设备技术领域，其包括架体，所述架体上端从左至右依次设有第一管道、第二管道和第三管道，所述架体中部设置有超声清洗机，所述架体中部固定有驱动电机，所述驱动电机驱动端固定有固定杆，所述固定杆上端固定有放置架，所述放置架中部开设有若干个通槽，所述放置架两侧均开设有滑槽。本申请通过人力拉动封闭盖进行移动，一方面实现清洗、甩干和干燥一体化的效果，达到提高一体化设备工作效率的作用，另一方面实现刮除清理的效果，达到提高一体化设备使用便捷性的作用，再一方面实现柔性压紧的效果，达到提高一体化设备使用稳定性的作用。
本发明授权一种晶圆自动清洗烘干一体化设备及方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆自动清洗烘干一体化设备，包括架体1，其特征在于：所述架体1上端从左至右依次设有第一管道2、第二管道3和第三管道4，所述架体1中部设置有超声清洗机5，所述架体1中部固定有驱动电机6，所述驱动电机6驱动端固定有固定杆7，所述固定杆7上端固定有放置架8，所述放置架8中部开设有若干个通槽9，所述放置架8两侧均开设有滑槽10，两个所述滑槽10内壁均滑动连接有滑盘11，每个所述滑盘11两侧均固定有第一弹簧12，两个所述滑盘11上端均固定有支撑杆13，两个所述支撑杆13上端固定有托盘14，所述托盘14中部固定有振动电机15，所述架体1上端中部滑动连接有封闭盖16，所述封闭盖16中部开设有若干个过滤孔17，所述封闭盖16中部设置有热风机18； 所述封闭盖16两侧设置有连接结构，连接结构上设置有清理架22，连接结构能够带着清理架22以超声清洗机5内壁高度方向做滑动，以对超声清洗机5内壁附着的杂质进行刮除清理。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人济南兰星电子有限公司，其通讯地址为：250200 山东省济南市章丘区明水街道赭山工业园；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励