昆山清元电子科技有限公司刘亦谦获国家专利权
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龙图腾网获悉昆山清元电子科技有限公司申请的专利一种基于应变效应的多层薄膜电容器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120637106B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510719103.1,技术领域涉及:H01G4/33;该发明授权一种基于应变效应的多层薄膜电容器是由刘亦谦;蒋佳;张力;孙士伦;刘隽甫设计研发完成,并于2025-05-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于应变效应的多层薄膜电容器在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于应变效应的多层薄膜电容器,涉及多层薄膜电容器技术领域,由包括如下步骤的制备方法制成:步骤S1、制备SrCa2Al2O6牺牲层;步骤S2、沉积SrRuO3电极;步骤S3、MLFC前驱体溶液的制备;步骤S4、MLFC制备;步骤S5、多层MLFC的制备;步骤S6、切割;步骤S7、牺牲层和丙烯酸树脂胶的溶解;步骤S8、柔性基底的更换。本发明公开的基于应变效应的多层薄膜电容器器电容量大,损耗小,能够实现多层薄膜电容器上更为便捷的应变施加和基底应变传递。
本发明授权一种基于应变效应的多层薄膜电容器在权利要求书中公布了:1.一种基于应变效应的多层薄膜电容器,其特征在于,由包括如下步骤的制备方法制成: 步骤S1、制备SrCa2Al2O6牺牲层:按照化学计量比将锶源、钙源、铝源混合,球磨,干燥后煅烧;煅烧后二次球磨,加入PVA胶水造粒并压片,将压好的片烧结,形成靶材;利用脉冲激光沉积,在基底表面沉积SrCa2Al2O6牺牲层; 步骤S2、沉积SrRuO3电极:在经过步骤S1制成的SrCa2Al2O6牺牲层上沉积一层SrRuO3电极; 步骤S3、MLFC前驱体溶液的制备:按照如下化学通式Bi3.15Nd0.85Ti3O12将硝酸铋、硝酸钕、硝酸钛溶解于有机溶剂中,在80-150℃下密闭环境下加热搅拌1-3小时,随后,冷却至室温,继续搅拌1-3小时,得到浓度为0.1-0.4M的MLFC前驱体溶液; 步骤S4、MLFC制备:将陈化1-3天后的MLFC前驱体溶液,通过旋涂工艺沉积在SrRuO3电极表面,涂覆后的湿膜在180-210℃下烘烤4-6分钟,然后在400-430℃下热解10-15分钟,最后通过热退火工艺结晶制成沉积薄膜;得到单层MLFC;单层MLFC一端使用图案化的掩模板进行磁控溅射金电极; 步骤S5、多层MLFC的制备:在制得的单层MLFC上重复步骤S4,直至得到一定层数的MLFC;其中,银电极磁控溅射应在上下两层MLFC上沿着MLFC长轴两端依次间隔涂刷; 步骤S6、切割:将基板用丙烯酸树脂粘接后进行切割,沿着电极的某一对相邻边切割,得到电容器; 步骤S7、牺牲层和丙烯酸树脂胶的溶解:将电容器浸入室温过滤的去离子水中,以溶解SrCa2Al2O6牺牲层和丙烯酸树脂胶; 步骤S8、柔性基底的更换:将经过步骤S7去除牺牲层和丙烯酸树脂胶后的电容器转移到理想的柔性基底上,得到基于应变效应的多层薄膜电容器。
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