嘉应学院李康劲获国家专利权
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龙图腾网获悉嘉应学院申请的专利一种三维叉指电极及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121141770B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511054026.9,技术领域涉及:G01N27/30;该发明授权一种三维叉指电极及其制备方法是由李康劲;林展雯;耿庆华;陈书汉;钟庆湖设计研发完成,并于2025-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种三维叉指电极及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种三维叉指电极及其制备方法,制备方法包括:首先在基底表面依次交替沉积有金属层和牺牲层,且金属层的层数至少为2;接着通过加热的方式在多层结构形成沿厚度方向贯穿的三维合金微柱阵列;沿厚度方向从多层结构背离基底的一侧开始,对多层结构进行减材加工,使得在多层结构设置有二维叉指结构;最后,将各牺牲层和合金微柱中的牺牲层组分氧化溶解,如此,不仅可以得到三维多孔微柱阵列,形成三维多孔微柱阵列电极;还可以获得由三维多孔微柱阵列连接且沿厚度方向间隔布置的至少两金属层,各金属层都设置有二维叉指结构,并且,三维多孔微柱阵列至少贯穿金属层中的二维叉指结构。这显著简化生产工艺和降低生产成本,提高检测性能。
本发明授权一种三维叉指电极及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种三维叉指电极的制备方法,其特征在于,包括: 沉积多层结构100:在基底1表面上沉积多层结构100,多层结构100包括至少两金属层2、以及设置于相邻两金属层2之间的至少一牺牲层3;其中,牺牲层3的材料的活泼性高于金属层2的材料的活泼性; 形成三维合金微柱阵列4:对多层结构100的多个局部微区进行加热,形成多个沿厚度方向贯穿多层结构100的柱状金属熔融区域,对柱状金属熔融区域进行冷却、凝固以形成合金微柱,所有的合金微柱共同组成三维合金微柱阵列4,合金微柱包括金属层组分和牺牲层组分; 形成二维叉指结构6:采用激光刻蚀、电子束刻蚀、离子束刻蚀、机械雕刻中的至少一种方法,沿厚度方向从多层结构100背离基底1的一侧开始,对多层结构100进行减材加工,以使多层结构100中的各金属层2和牺牲层3设置有平行于基底1表面的二维叉指结构6; 得到三维叉指电极:采用脱合金方法,将各合金微柱中的牺牲层组分氧化溶解,以在合金微柱中形成多个开孔结构50,使得合金微柱转变为多孔微柱,所有的多孔微柱共同组成三维多孔微柱阵列5;同时将各牺牲层3氧化溶解,使得相邻两金属层2之间形成空隙,多层金属层2通过三维多孔微柱阵列5连接,以得到三维叉指电极;其中,沿厚度方向,三维多孔微柱阵列5至少贯穿二维叉指结构6; 基底1的材料包括陶瓷、蓝宝石玻璃、石英玻璃、硼硅玻璃、铝硅玻璃中的至少一种; 金属层2的材料包括金、铂、银、钯、镍、铜、铋、钛中的至少一种; 金属层2包括第一区域和第二区域,其中第一区域用于形成二维叉指结构6,第二区域为二维叉指结构6的周侧; 在所述形成三维合金微柱阵列4的操作步骤中,所有的合金微柱均设置在所述第一区域;或,部分合金微柱设置在所述第一区域,且部分合金微柱设置在所述第二区域。
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