珠海市申科谱工业科技有限公司杨小龙获国家专利权
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龙图腾网获悉珠海市申科谱工业科技有限公司申请的专利一种晶圆环升降吸附机构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121335470B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511883130.9,技术领域涉及:H10P72/30;该发明授权一种晶圆环升降吸附机构是由杨小龙;李峰;粟勇;杜政卿;钟函君;冯睿璇;毛明春;张振富;孙泳;宋斌杰设计研发完成,并于2025-12-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆环升降吸附机构在说明书摘要公布了:本发明公开了一种晶圆环升降吸附机构,旨在提供一种结构简单、在刻蚀机生产取料过程中通过滑块斜面与滚轮的线接触配合,采用多点联动升降的旋转吸附台并可实现平行动态调节的晶圆环升降吸附机构。本发明包括调节组件和升降吸附组件,所述升降吸附组件包括固定平台、旋转定位模组、转动平台、吸附板、若干组侧推模组以及若干组顶升模组,所述旋转定位模组设置在所述固定平台上,所述转动平台与所述旋转定位模组活动端相连接,若干组所述侧推模组设置在所述固定平台上端,若干组所述侧推模组与所述转动平台上相对应的所述顶升模组相配合并顶升所述吸附板与晶圆环产品相配合。本发明应用于产品检测的技术领域。
本发明授权一种晶圆环升降吸附机构在权利要求书中公布了:1.一种晶圆环升降吸附机构,包括调节组件1和升降吸附组件2,其特征在于:所述升降吸附组件2包括固定平台3、旋转定位模组4、转动平台5、吸附板6、若干组侧推模组8以及若干组顶升模组9,所述旋转定位模组4设置在所述固定平台3上,所述转动平台5与所述旋转定位模组4活动端相连接,若干组所述侧推模组8设置在所述固定平台3上端,若干组所述侧推模组8与所述转动平台5上相对应的所述顶升模组9相配合并顶升所述吸附板6与晶圆环产品10相配合; 所述顶升模组9包括侧推滑轨91、侧推滑块92、顶升固定块93、顶升滑轨94以及顶升滑块95,若干组所述侧推滑轨91阵列设置在所述转动平台5上端的安装槽11内,所述侧推滑块92与所述侧推滑轨91活动端相连接,若干所述顶升固定块93阵列设置在所述转动平台5中部的避让口12内侧,若干所述顶升滑块95通过所述顶升滑轨94与所述顶升固定块93滑动配合,所述侧推滑块92上端面设置有碶形块96,所述顶升滑块95与所述侧推滑块92相对应一端设置有顶升滚轮97,所述顶升滚轮97与所述碶形块96相配合并驱动所述顶升滑块95与所述吸附板6相配合; 所述侧推模组8包括侧推气缸81和侧推头82,若干组所述侧推气缸81阵列设置在所述固定平台3上端面,所述侧推头82与所述侧推气缸81活动端相连接,所述侧推头82上端设置有避位滚轮83,所述侧推滑块92靠近所述侧推头82一端底部设置有避位推槽98,所述侧推气缸81驱动所述避位滚轮83与所述避位推槽98相配合。
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