华芯程(杭州)科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉华芯程(杭州)科技有限公司申请的专利基于方向分组索引的掩膜规则检查快速查询方法、装置、介质、程序产品及终端获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121454858B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202610014341.7,技术领域涉及:G03F1/84;该发明授权基于方向分组索引的掩膜规则检查快速查询方法、装置、介质、程序产品及终端是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2026-01-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于方向分组索引的掩膜规则检查快速查询方法、装置、介质、程序产品及终端在说明书摘要公布了:本申请提供的基于方向分组索引的掩膜规则检查快速查询方法、装置、介质、程序产品及终端,包括:获取光学临近修正后的掩膜图形数据,对所述掩膜图形数据进行特征提取,以获得特征线段集;对所述特征线段集中的所有线段进行方向分组处理,获得不同方向的线段子集;采用分桶策略为每个线段子集构建对应的分桶索引结构;基于每个线段子集构建的分桶索引结构执行掩膜规则检查的快速平行线段查询。本申请通过方向分组和分桶索引技术,提供针对平行线段查询优化的索引方法,不仅显著提升MRC检查中平行线段规则验证的效率,还可以避免使用复杂的R‑Tree结构,减少内存占用,适用于先进制程的大规模掩膜数据。
本发明授权基于方向分组索引的掩膜规则检查快速查询方法、装置、介质、程序产品及终端在权利要求书中公布了:1.一种基于方向分组索引的掩膜规则检查快速查询方法,其特征在于,包括: 获取光学临近修正后的掩膜图形数据,对所述掩膜图形数据进行特征提取,以获得特征线段集; 对所述特征线段集中的所有线段进行方向分组处理,获得不同方向的线段子集; 采用分桶策略为每个线段子集构建对应的分桶索引结构; 基于每个线段子集构建的分桶索引结构执行掩膜规则检查的快速平行线段查询;其过程包括:读取掩膜规则检查的设计规则参数;根据设计规则参数生成查询框;根据查询框在每个线段子集构建的分桶索引结构中进行查询:识别不同方向的线段子集,选择对应的分桶索引,定位对应的桶,在桶内搜索获得候选线段;对候选线段进行几何规则验证并修正当前线段,输出最终修正后的掩膜图形数据。
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