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龙图腾网获悉深圳市华芯半导体装备技术有限公司申请的专利适用于半导体设备的模拟信号校准方法、控制器及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121476909B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610030435.3，技术领域涉及：G01R31/28；该发明授权适用于半导体设备的模拟信号校准方法、控制器及系统是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2026-01-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本适用于半导体设备的模拟信号校准方法、控制器及系统在说明书摘要公布了：本申请公开了一种适用于半导体设备的模拟信号校准方法、控制器及系统，方法包括：控制模拟信号输出模块输出第一预设电信号；通过模拟信号输入模块对第一预设电信号采集，获取第一电参数采集值；通过模拟电参数测量装置测量第一预设电信号，获取第一电参数测量值；根据第一电参数采集值与第一电参数测量值，对模拟信号输入模块进行校准；控制模拟信号输出模块输出对应第一预设电参数值的第二预设电信号；通过校准后的模拟信号输入模块对第二预设电信号采集，获取第二电参数采集值；根据第一预设电参数值与第二电参数采集值，对模拟信号输出模块输出的信号进行校准。通过上述方式，能够实现对模拟输入信号和模拟输出信号进行校准，以提高精度。

本发明授权适用于半导体设备的模拟信号校准方法、控制器及系统在权利要求书中公布了：1.一种适用于半导体设备的模拟信号校准方法，应用于信号处理系统及模拟电参数测量装置，其特征在于，所述信号处理系统包括模拟信号输入模块及与所述模拟信号输入模块电连接的模拟信号输出模块，所述模拟信号校准方法包括： 控制模拟信号输出模块依次输出第一目标区间的第一预设电信号至模拟信号输入模块及模拟电参数测量装置，其中，所述第一预设电信号为所述第一目标区间内，预先定义的一组离散的、有序的电信号值； 通过所述模拟信号输入模块对所述第一预设电信号进行采集，获取对应的第一电参数采集值； 通过所述模拟电参数测量装置测量所述第一预设电信号，获取对应的第一电参数测量值； 根据所述第一电参数采集值与所述第一电参数测量值，对所述模拟信号输入模块采集的信号进行校准； 控制所述模拟信号输出模块依次输出所述第一目标区间的第二预设电信号至校准后的模拟信号输入模块，其中，第二预设电信号依次对应于所述第一目标区间的第一预设电参数值，所述第二预设电信号与所述第一预设电参数值存在一一映射关系，所述第一预设电参数值为在所述第一目标区间内预先设定的一组期望物理量值； 通过校准后的模拟信号输入模块对所述第二预设电信号进行采集，获取对应的第二电参数采集值； 根据所述第一预设电参数值与所述第二电参数采集值，对所述模拟信号输出模块输出的信号进行校准。

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