深圳市联合蓝海应用材料科技股份有限公司张栩照获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市联合蓝海应用材料科技股份有限公司申请的专利金蚀刻液及其应用和蚀刻晶圆电镀金银合金的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121538644B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610051680.2，技术领域涉及：C23F1/40；该发明授权金蚀刻液及其应用和蚀刻晶圆电镀金银合金的方法是由张栩照;任长友;王彤;邓川;刘松设计研发完成，并于2026-01-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本金蚀刻液及其应用和蚀刻晶圆电镀金银合金的方法在说明书摘要公布了：本发明涉及先进封装半导体驱动芯片领域，公开了一种金蚀刻液及其应用和蚀刻晶圆电镀金银合金的方法。金蚀刻液包括：络合剂、氧化剂、铝保护剂和溶剂；其中，所述络合剂包括主络合剂和辅络合剂；所述主络合剂选自硫脲和或硫脲衍生物；所述辅络合剂选自丁基黄药、异戊基黄药、硫氨酯和膦酸二乙酯中的至少一种；所述络合剂：氧化剂：铝保护剂：溶剂的重量比为1：0.2‑1.5：0.2‑1.5：20‑30。该金蚀刻液具有温和的氧化性，可选择性地蚀刻PVD金种子层，避免蚀刻金银合金凸块自身，不会造成金银合金凸块出现严重变形，以及避免蚀刻对晶圆中铝线路的损伤，刻条件温和，金蚀刻速率可调。
本发明授权金蚀刻液及其应用和蚀刻晶圆电镀金银合金的方法在权利要求书中公布了：1.一种金蚀刻液，其特征在于，所述金蚀刻液包括：络合剂、氧化剂、铝保护剂和溶剂； 其中，所述络合剂包括主络合剂和辅络合剂；所述主络合剂选自硫脲和或硫脲衍生物；所述辅络合剂选自丁基黄药、异戊基黄药、硫氨酯和膦酸二乙酯中的至少一种； 所述络合剂：氧化剂：铝保护剂：溶剂的重量比为1：0.2-1.5：0.2-1.5：20-30； 所述主络合剂：辅络合剂的重量比为1：0.5-2。
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