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龙图腾网获悉上海微釜半导体设备有限公司申请的专利一种晶圆传输设备及立式炉系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121620150B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610135657.1，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权一种晶圆传输设备及立式炉系统是由刘晓东;陶元真设计研发完成，并于2026-01-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆传输设备及立式炉系统在说明书摘要公布了：本发明公开了晶圆传输设备及立式炉系统，晶圆传输设备包括：取放腔体围绕形成取放腔，取放腔体的预设位置具有与取放腔连通的取放开口；传输腔体围绕形成传输腔，传输腔体的一侧具有与传输腔连通的传输开口，传输腔体位于取放腔体的下方，传输腔体与取放腔体的连接处具有连通取放腔和传输腔的连通口；传输机构安装于所述传输腔体，传输机构能够在传输腔内上下左右移动，以将取放腔体内的晶圆转移到与晶圆传输设备相邻的工艺设备中，且将完成工艺处理的晶圆自工艺设备转移至取放腔体。传输机构用于夹持晶圆盒的夹持结构的间距可调，能够夹持不同尺寸的晶圆盒，能够降低设备成本提高生产效率。

本发明授权一种晶圆传输设备及立式炉系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆传输设备，其特征在于，包括： 取放腔体，所述取放腔体围绕形成取放腔，所述取放腔体的预设位置具有与所述取放腔连通的取放开口，所述取放开口用于在所述晶圆传输设备及外部设备之间取放晶圆； 传输腔体，所述传输腔体围绕形成传输腔，所述传输腔体的一侧具有与所述传输腔连通的传输开口，所述传输腔体位于所述取放腔体的下方，所述传输腔体与所述取放腔体的连接处具有连通所述取放腔和所述传输腔的连通口； 传输机构，所述传输机构安装于所述传输腔体，所述传输机构能够在所述传输腔内上下左右移动，以将所述取放腔体内的晶圆转移到与所述晶圆传输设备相邻的工艺设备中，且将完成工艺处理的晶圆自所述工艺设备转移至所述取放腔体，所述传输机构具有用于夹持晶圆盒的夹持结构，且所述夹持结构的间距可调，以用于夹持不同尺寸的所述晶圆盒； 所述传输机构包括第二传输机构，所述第二传输机构包括两个夹持臂，并且两个所述夹持臂之间的距离能够根据所述晶圆盒的宽度而调整； 所述第二传输机构包括基座，所述基座可滑动地安装于所述传输腔内，所述夹持臂可滑动地安装于所述基座，相对于所述基座滑动所述夹持臂能够改变两个所述夹持臂之间的距离； 所述第二传输机构还包括伸缩组件和导轨，所述导轨安装于所述基座，所述夹持臂的底部可滑动地安装于所述导轨，所述伸缩组件安装于所述基座，并且设置于所述导轨的一侧，并且所述伸缩组件连接于所述夹持臂，所述伸缩组件伸缩时能够带动所述夹持臂沿着所述导轨滑动； 所述第二传输机构还包括第一连杆和第二连杆，其中所述第二连杆的数量是两个，所述第一连杆的中间位置可转动地连接于所述基座，所述第一连杆的两端分别与两个所述第二连杆可转动地连接，两个所述第二连杆远离所述第一连杆的一端分别与两个所述夹持臂可转动地连接；所述第一连杆与所述第二连杆的转动连接处与所述伸缩组件的一端可转动地连接。

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