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龙图腾网获悉宸微设备科技(苏州)有限公司申请的专利隔离阀装置以及半导体设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121631020B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610156620.7，技术领域涉及：F16K3/02；该发明授权隔离阀装置以及半导体设备是由梁俊龙;尹艳超设计研发完成，并于2026-02-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本隔离阀装置以及半导体设备在说明书摘要公布了：一种隔离阀装置以及半导体设备，隔离阀装置工作时，设置在第一阀组件第二面的第二阀组件能够遮挡凹槽，所述第一阀板遮挡所述第一连接口时，使得凹槽被围成空腔，通过气流流道能够向所述空腔中输送气体，因为所述第一阀板遮挡所述第一连接口时形成预设的间隙，使得向空腔内输送的气体，能通过第一阀板和第一连接口之间的间隙定向地向反应腔室流动，定向气流用于作为动态的气体屏障，能够阻止反应腔室内的物质逆向进入隔离阀装置的内部，有利于提高隔离阀装置的洁净度和可靠性。

本发明授权隔离阀装置以及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种隔离阀装置，其特征在于，设置在反应腔室和传输腔室之间，所述隔离阀装置包括： 第一阀组件，包括第一阀体和第一阀板，所述第一阀体包括相对的第一面和第二面，所述第一面上设置有第一连接口，且所述第一连接口与反应腔室连通，所述第二面上设置有凹槽，所述凹槽与所述第一连接口连通，所述第一阀板能够相对于所述第一阀体移动以遮挡或暴露所述第一连接口，且所述第一阀板遮挡所述第一连接口时形成预设的间隙； 第二阀组件，设置在所述第一阀组件的所述第二面，且遮挡所述凹槽，所述第二阀组件用于当所述第一阀板遮挡所述第一连接口时，将所述凹槽围成空腔；所述第二阀组件包括：第二阀体，所述第二阀体与所述第一阀体的所述第二面接触，且所述第二阀体包括贯通的第二连接口，且所述第二连接口与所述凹槽连通；第二阀板，设置在所述第二阀体背离所述第一阀体一侧，且所述第二阀板用于遮挡所述第二连接口；所述第二阀体背离所述第一阀体一侧具有楔形槽，所述第二连接口的端部位于所述楔形槽的底部或侧壁；所述第二阀组件包括：第二驱动单元，设置在所述第二阀体的外部，所述第二驱动单元的输出端与第二阀板连接，用于驱动所述第二阀板沿相对于所述第二阀体的密封面倾斜的路径移动，使得第二阀板端部移动至所述楔形槽中遮挡所述第二连接口；所述第二阀体材料的导热系数低于所述第一阀体材料的导热系数，且所述第二阀体内部设置有用于增大热阻的中空结构； 气流流道，设置在所述第一阀组件中、第二阀组件中或者位于所述第一阀组件和所述第二阀组件之间，所述气流流道与所述凹槽连通，用于向所述凹槽中输送气体； 隔离阀装置还包括：气体入口，与所述气流流道连通，用于向所述气流流道中通入吹扫气体；气体喷射口，所述气体喷射口的一端与所述气流流道连通，所述气体喷射口的另一端与所述凹槽连通，且所述气体喷射口朝向所述第一连接口设置，用于喷射吹扫气体以形成阻止所述反应腔室内的物质进入所述空腔的气体屏障； 所述气流流道位于所述第一阀体内部，且所述气流流道环绕在所述凹槽四周，所述气体喷射口包括沿所述凹槽的边缘分布的多个喷嘴。

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