上海车仪田科技有限公司刘新阳获国家专利权
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龙图腾网获悉上海车仪田科技有限公司申请的专利半导体承载盘旋转参数的计算方法、系统、设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121658908B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610170079.5，技术领域涉及：G06F18/213；该发明授权半导体承载盘旋转参数的计算方法、系统、设备及存储介质是由刘新阳;张黎明;宣光濮;汪晓刚设计研发完成，并于2026-02-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体承载盘旋转参数的计算方法、系统、设备及存储介质在说明书摘要公布了：本申请提供了一种半导体承载盘旋转参数的计算方法、系统、设备及存储介质，涉及半导体检测技术领域。本申请采用单一光电传感器，避免了高成本与高维护负担。特征模型不依赖于精密几何坐标图纸，匹配结果对尺寸漂移及轻微形变具有更强容忍度，可适配多种承载盘，显著提升通用性与长期稳定性；核心计算集中于一维时域序列的特征提取、多周期统计与拓扑匹配，可在较低算力条件下实现快速输出，满足在线监控与闭环控制对响应速度的要求；通过初定位结合模型精匹配的两级策略，仅依赖托盘特征及其实测分布即可建立全局一致的绝对相位关系，从而稳定获得目标旋转参数，确保在特征点稀疏、非满盘等复杂工况下仍能输出精确、可靠的测量与定位结果。
本发明授权半导体承载盘旋转参数的计算方法、系统、设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种半导体承载盘旋转参数的计算方法，其特征在于，适用于包括光电传感器的半导体检测装置，所述光电传感器设置于半导体反应腔侧壁，承载盘上设置有多个用于放置载片对象的托盘；所述方法包括: 获取所述光电传感器在所述承载盘旋转过程中输出的反射信号； 对所述反射信号进行特征提取，得到时序特征信息，所述时序特征信息包括脉宽序列和间隙序列； 对所述间隙序列进行多周期分析，得到初步旋转参数； 基于所述初步旋转参数，将所述时序特征信息映射至角度坐标，从而构建实测载片对象位置列表； 将所述实测载片对象位置列表和预设的特征模型进行圆周相位匹配，确定最优相位偏移；所述特征模型为描述托盘布局拓扑关系和相对角度容差的集合； 基于所述最优相位偏移修正所述初步旋转参数，得到目标旋转参数。
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