美满芯盛(杭州)微电子有限公司王敏锐获国家专利权
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龙图腾网获悉美满芯盛(杭州)微电子有限公司申请的专利一种具有毛细微孔双衬底的MEMS硅基雾化芯获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224125288U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520809748.X，技术领域涉及：A24F40/46；该实用新型一种具有毛细微孔双衬底的MEMS硅基雾化芯是由王敏锐;李文翔设计研发完成，并于2025-04-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有毛细微孔双衬底的MEMS硅基雾化芯在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种具有毛细微孔双衬底的MEMS硅基雾化芯，其包括：第一衬底，其为高热导率的硅衬底，其上阵列排布若干个雾化孔，其顶面设置金属电极；第二衬底，其为低热导率材料衬底，其通过中间层粘结在第一衬底的底面，其上阵列排布若干个通孔；其中，雾化孔与通孔连通并形成微流道储液腔。本实用新型可以解决现有雾化芯存在的加热不均匀、雾化速度慢、锁液储液性能差、容易炸舱的问题。
本实用新型一种具有毛细微孔双衬底的MEMS硅基雾化芯在权利要求书中公布了：1.一种具有毛细微孔双衬底的MEMS硅基雾化芯，其特征在于，包括： 第一衬底，其为高热导率的硅衬底，其上阵列排布若干个雾化孔，其顶面设置金属电极； 第二衬底，其为低热导率材料衬底，其通过中间层粘结在所述第一衬底的底面，其上阵列排布若干个通孔； 其中，所述雾化孔与通孔连通并形成微流道储液腔。
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