江苏元广半导体设备有限公司李纪让获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏元广半导体设备有限公司申请的专利一种通过式氯化反应腔获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224127304U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520935739.5,技术领域涉及:B01J19/24;该实用新型一种通过式氯化反应腔是由李纪让设计研发完成,并于2025-05-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种通过式氯化反应腔在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种通过式氯化反应腔。包括安装座、中端固定卡、带键固定卡、前端固定卡、导流帽、键槽盖板、石墨半衬套、石墨衬套、石英反应腔及排气管接头;安装座为矩形框架结构,通过螺栓与外部支撑结构连接,用于固定反应腔;中端固定卡、带键固定卡、前端固定卡分别安装在石英反应腔的中部、键槽段及前端,通过键槽配合和螺栓紧固实现轴向定位;导流帽设于石英反应腔末端,导流帽与排气管接头连接;导流帽的内腔用于引导氯气汇流排出。解决了现有技术方案中氯化反应腔大多为间歇式,难以满足大规模连续生产的需求,同时存在诸如物料流动不均匀,导致反应不充分、产物质量不稳定,密封和固定结构欠佳,易出现泄漏和部件松动的技术问题。
本实用新型一种通过式氯化反应腔在权利要求书中公布了:1.一种通过式氯化反应腔,其特征在于,包括安装座1、中端固定卡21、带键固定卡22、前端固定卡23、导流帽3、键槽盖板4、石墨半衬套5、石墨衬套6、石英反应腔7及排气管接头8;所述安装座1为矩形框架结构,通过螺栓与外部支撑结构连接,用于固定反应腔;所述中端固定卡21、带键固定卡22、前端固定卡23分别安装在所述石英反应腔7的中部、键槽段及前端,通过键槽配合和螺栓紧固实现轴向定位;所述导流帽3设于所述石英反应腔7末端,且所述导流帽3与所述排气管接头8连接;所述导流帽3的内腔用于引导氯气汇流排出;所述键槽盖板4覆盖在石英反应腔7顶部的键槽区域,通过密封垫和螺丝固定;所述石墨半衬套5和石墨衬套6分别包覆石英反应腔7的部分和整体,用于耐腐蚀及温度均匀分布;所述排气管接头8通过法兰连接导流帽3,并与外部抽风管道连通。
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