瑞鑫泰精密部件(惠州)有限公司章靖获国家专利权
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龙图腾网获悉瑞鑫泰精密部件(惠州)有限公司申请的专利一种晶圆清洗内辊及组装式清洗辊获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224127982U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520743015.0，技术领域涉及：B08B1/12；该实用新型一种晶圆清洗内辊及组装式清洗辊是由章靖设计研发完成，并于2025-04-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆清洗内辊及组装式清洗辊在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种晶圆清洗内辊及组装式清洗辊，包括辊体，中部设有进液孔，辊体外侧设有若干出液槽，进液孔设有与出液槽连通的出液孔，所述出液槽截面整体呈矩形，将出液槽截面整体设置为矩形，从而出液槽具有一定的容积，在外部设置海绵刷之后，进液孔内进入的液体会先通过出液孔进入靠近进液孔端部位置的出液槽内，而出液槽具有一定的容积，进入出液槽内的液体需要先在出液槽内缓流，同时会使得更多的液体流动至进液孔底部位置的出液槽，这样可以减少各个出液槽位置液体与海绵刷接触的时间差，使得各个出液槽内水流均匀性增加，同时，由于出液槽与海绵刷接触面积较大，因而可以提高海绵刷的透水性，增加清洗辊在清洗过程中的效率。
本实用新型一种晶圆清洗内辊及组装式清洗辊在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗内辊，其特征在于，包括辊体，中部设有进液孔，辊体外侧设有若干出液槽，进液孔设有与出液槽连通的出液孔，所述出液槽截面整体呈矩形。
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