江苏元夫半导体科技有限公司;无锡元湃半导体材料有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏元夫半导体科技有限公司;无锡元湃半导体材料有限公司申请的专利清洗装置及清洗系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224128018U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520245270.2，技术领域涉及：B08B3/02；该实用新型清洗装置及清洗系统是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-02-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本清洗装置及清洗系统在说明书摘要公布了：本申请实施例公开了一种清洗装置和清洗系统，清洗装置包括：支架；清洗组件，清洗组件包括清洗模块和连接杆，连接杆的第一端与清洗模块连接，清洗模块能够向待清洗件喷射水雾；驱动组件，驱动组件设置于支架，驱动组件与连接杆的第二端连接，驱动组件能够驱动连接杆摆动；防护罩，防护罩内部形成有容纳腔，清洗模块位于容纳腔的内部，驱动组件位于容纳腔外部，连接杆穿设于防护罩，防护罩包括避让口和吸风口，避让口用于避让待清洗件，清洗模块能够向避让口喷射水雾，以清洗待清洗件，吸风口用于连接抽气设备。本申请实施例提供的清洗装置，能够阻止清洗时产生的水雾扩散，解决了清洗时的水雾对清洗装置和清洗后的晶圆造成污染的问题。
本实用新型清洗装置及清洗系统在权利要求书中公布了：1.一种清洗装置，其特征在于，包括： 支架； 清洗组件，所述清洗组件包括清洗模块和连接杆，所述连接杆的第一端与所述清洗模块连接，所述清洗模块能够向待清洗件喷射水雾； 驱动组件，所述驱动组件设置于所述支架，所述驱动组件与所述连接杆的第二端连接，所述驱动组件能够驱动所述连接杆摆动； 防护罩，所述防护罩内部形成有容纳腔，所述清洗模块位于所述容纳腔的内部，所述驱动组件位于所述容纳腔外部，所述连接杆穿设于所述防护罩，所述防护罩包括避让口和吸风口，所述避让口用于避让所述待清洗件，所述清洗模块能够向所述避让口喷射水雾，以清洗所述待清洗件，所述吸风口用于连接抽气设备。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏元夫半导体科技有限公司;无锡元湃半导体材料有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市新吴区行创四路7号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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