绍兴芯链半导体科技有限公司罗亦昊获国家专利权
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龙图腾网获悉绍兴芯链半导体科技有限公司申请的专利掩模基板的回收处理系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224128068U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520949534.2，技术领域涉及：B08B3/08；该实用新型掩模基板的回收处理系统是由罗亦昊;潘星佑;李佳珍设计研发完成，并于2025-05-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本掩模基板的回收处理系统在说明书摘要公布了：本实用新型属于掩模基板领域，具体涉及一种掩模基板的回收处理系统。包括退膜模块，所述退膜模块包括退膜容器和清除容器，所述清除容器设置于所述退膜容器后端，所述退膜容器内容纳退膜液，所述清除容器内容纳有清除液；以及干燥模块，所述干燥模块设置于所述退膜模块后端。本实用新型提供一种掩模基板的回收处理系统，其目的在于解决掩膜基板回收的问题。
本实用新型掩模基板的回收处理系统在权利要求书中公布了：1.一种掩模基板的回收处理系统，其特征在于：包括 退膜模块，所述退膜模块包括退膜容器和清除容器，所述清除容器设置于所述退膜容器后端，所述退膜容器内容纳退膜液，所述清除容器内容纳有清除液；以及 干燥模块，所述干燥模块设置于所述退膜模块后端。
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