亿威盛半导体科技(上海)有限公司丁双伟获国家专利权
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龙图腾网获悉亿威盛半导体科技(上海)有限公司申请的专利一种电极清洗设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224128075U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520578420.1，技术领域涉及：B08B3/10；该实用新型一种电极清洗设备是由丁双伟;张耀文;余正飞设计研发完成，并于2025-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种电极清洗设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体加工技术领域，提供了一种电极清洗设备，包括清洗腔室和电极固定件，所述清洗腔室内盛有清洗液，所述清洗腔室设有转轴，所述电极固定件设于转轴且能够相对于清洗腔室进行转动。本申请通过设置电极固定件，将电极固定在电极固定件上，通过转轴相对于清洗腔室进行转动，电极固定件在转动过程中能够与清洗液充分接触，能够快速高效的去除电极表面和孔内的污染物，而且，相对于现有技术，在电极固定件转动过程中，清洗液的流速增加，能够增大对于电极的清洗力度，在一定程度上能够提高清洗的清洗效率和清洗效果。
本实用新型一种电极清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种电极清洗设备，其特征在于，包括清洗腔室和电极固定件，所述清洗腔室内盛有清洗液，所述清洗腔室设有转轴，所述电极固定件设于转轴且能够相对于清洗腔室进行转动，所述电极固定件设有通孔和限位块，所述限位块将电极固定于所述通孔内。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人亿威盛半导体科技(上海)有限公司，其通讯地址为：200120 上海市浦东新区王桥路1017号1层02室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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