宸微设备科技(苏州)有限公司王子阳获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉宸微设备科技(苏州)有限公司申请的专利环形清洗装置以及半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224128158U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520975361.1，技术领域涉及：B08B9/093；该实用新型环形清洗装置以及半导体设备是由王子阳;张安鹏;韦程皓设计研发完成，并于2025-05-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本环形清洗装置以及半导体设备在说明书摘要公布了：一种环形清洗装置以及半导体设备，环形清洗装置设置在腔室内侧壁上，用于对腔室内侧壁进行清洁，环状装置包括位于其内部的环形空腔，进气口，设置在环状柔体上，且与环形空腔连通；多个喷嘴，设置在环状柔体的内周侧壁上，且与环形空腔连通。在环形清洗装置工作时，通过进气口向环形空腔通气，使环状柔体体积增大，环状柔体能够稳定地固定在腔室内侧壁上，气体从喷嘴喷射到腔室内侧壁，同时实现对腔室内侧壁的多点吹扫清洁，提高腔室内侧壁清洁的洁净度；此外，该环形清洗装置还能够有效应对半导体设备中空间狭小难以清洁的技术难题，从而提高了设备清洁的效率和质量。
本实用新型环形清洗装置以及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种环形清洗装置，其特征在于，设置在腔室内侧壁上，用于对所述腔室内侧壁进行清洁，所述环形清洗装置包括： 环状柔体，所述环状柔体内部具有环形空腔； 进气口，设置在所述环状柔体上，且与所述环形空腔连通； 多个喷嘴，设置在所述环状柔体的内周侧壁上，且与所述环形空腔连通。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人宸微设备科技(苏州)有限公司，其通讯地址为：215299 江苏省苏州市吴江区江陵街道芦荡路228号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励