北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司王都美获国家专利权
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龙图腾网获悉北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司申请的专利一种防尘罩和半导体设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224128192U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520637405.X,技术领域涉及:B08B17/02;该实用新型一种防尘罩和半导体设备是由王都美;仝超超;刘静然;巩雅文设计研发完成,并于2025-04-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种防尘罩和半导体设备在说明书摘要公布了:本申请提供一种防尘罩,用于罩设半导体设备工艺腔室的通风口,包括:罩体,包括第一区域和环绕所述第一区域设置的第二区域,所述第一区域朝第一方向凸出设置,所述第二区域朝第二方向凸出设置,所述第一方向与所述第二方向朝向相反。本申请还提供一种半导体设备,所述半导体设备包括工艺腔室以及所述防尘罩。本申请提供的防尘罩以及半导体设备能够避免颗粒污染物在工艺腔室通风口附近堆积。
本实用新型一种防尘罩和半导体设备在权利要求书中公布了:1.一种防尘罩,用于罩设半导体设备工艺腔室的通风口,其特征在于,包括: 罩体,包括第一区域和环绕所述第一区域设置的第二区域,所述第一区域朝第一方向凸出,所述第二区域朝第二方向凸出,所述第一方向与所述第二方向朝向相反。
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