吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司吴正龙获国家专利权
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龙图腾网获悉吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司申请的专利机台软件卡死检测装置和半导体加工设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224129449U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521043990.7,技术领域涉及:B24B37/005;该实用新型机台软件卡死检测装置和半导体加工设备是由吴正龙设计研发完成,并于2025-05-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本机台软件卡死检测装置和半导体加工设备在说明书摘要公布了:本申请涉及一种机台软件卡死检测装置和半导体加工设备,机台软件卡死检测装置包括定时开关模块、报警开关模块和报警模块,定时开关模块连接机台和报警开关模块,报警开关模块连接报警模块;定时开关模块接收机台在运行时输出的运行状态信号,运行状态信号在上升电压信号和下降电压信号之间切换,在运行状态信号保持为预设电压的时间超过预设时长时导通,报警开关模块在定时开关模块导通时导通,使报警模块输出报警信息,以便工作人员及时知晓机台软件卡死,避免机台长时间软件卡死耽误产能甚至导致晶圆报废,提高了加工可靠性。
本实用新型机台软件卡死检测装置和半导体加工设备在权利要求书中公布了:1.一种机台软件卡死检测装置,其特征在于,包括定时开关模块、报警开关模块和报警模块,所述定时开关模块连接机台和所述报警开关模块,所述报警开关模块连接所述报警模块; 所述定时开关模块接收所述机台在运行时输出的运行状态信号,所述运行状态信号在上升电压信号和下降电压信号之间切换,在所述运行状态信号保持为预设电压的时间超过预设时长时导通;所述报警开关模块在所述定时开关模块导通时导通,使所述报警模块输出报警信息。
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