北京通美晶体技术股份有限公司;朝阳通美晶体科技有限公司;保定通美晶体制造有限责任公司王留刚获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
龙图腾网获悉北京通美晶体技术股份有限公司;朝阳通美晶体科技有限公司;保定通美晶体制造有限责任公司申请的专利一种晶片抛光装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224129451U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521016309.X,技术领域涉及:B24B37/11;该实用新型一种晶片抛光装置是由王留刚;李林谭;李海淼设计研发完成,并于2025-05-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶片抛光装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶片抛光装置,包括:抛光头、陶瓷盘和抛光大盘;所述陶瓷盘设置于所述抛光头底部;所述抛光大盘设置于所述陶瓷盘下方;所述陶瓷盘底部设有第一凸起部;所述第一凸起部底部设有晶片;所述抛光大盘顶部设有第二凸起部;所述第二凸起部呈环形结构;所述第一凸起部位于所述第二凸起部上方。本实用新型通过在陶瓷盘和抛光大盘上分别设有第一凸起部和第二凸起部,使得晶片边缘和中心接触药液更均匀,并优化晶片各部分的压力分布,使得晶片靠陶瓷盘中心处压力分布略高于外边缘处,从而使得晶片表面抛光去除速率更加均匀,进而提高晶片的平整度。
本实用新型一种晶片抛光装置在权利要求书中公布了:1.一种晶片抛光装置,其特征在于,包括:抛光头1、陶瓷盘2和抛光大盘3;所述陶瓷盘2设置于所述抛光头1底部;所述抛光大盘3设置于所述陶瓷盘2下方;所述陶瓷盘2底部设有第一凸起部4;所述第一凸起部4底部设有晶片5;所述抛光大盘3顶部设有第二凸起部6;所述第二凸起部6呈环形结构;所述第一凸起部4位于所述第二凸起部6上方。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北京通美晶体技术股份有限公司;朝阳通美晶体科技有限公司;保定通美晶体制造有限责任公司,其通讯地址为:101149 北京市通州区工业开发区东二街4号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议,有机会获取IP积分或其他奖励