北京通美晶体技术股份有限公司;朝阳通美晶体科技有限公司;保定通美晶体制造有限责任公司李海淼获国家专利权
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龙图腾网获悉北京通美晶体技术股份有限公司;朝阳通美晶体科技有限公司;保定通美晶体制造有限责任公司申请的专利一种提高晶片平整度的凸型陶瓷盘和环形带大盘获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224129453U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521016335.2,技术领域涉及:B24B37/11;该实用新型一种提高晶片平整度的凸型陶瓷盘和环形带大盘是由李海淼;王留刚;李林潭;王亚坤;刘征;邢峥设计研发完成,并于2025-05-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种提高晶片平整度的凸型陶瓷盘和环形带大盘在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种提高晶片平整度的凸型陶瓷盘和环形带大盘,涉及晶片抛光设备领域,包括凸型陶瓷盘和环形带大盘,所述凸型陶瓷盘底部的晶片安装面为具有预设凸度的弧形凸起面;所述环形带大盘包括大盘和用于调整大盘盘型的的环形带,所述环形带同圆心安装在所述大盘的上表面,所述环形带的截面呈阶梯状等腰梯形状或矩形状。凸型陶瓷盘的弧形凸起面与环形带大盘配合,有效解决了抛光液分布不均匀和晶片压力分布不均匀的问题,能够有效提高晶片的平整度。
本实用新型一种提高晶片平整度的凸型陶瓷盘和环形带大盘在权利要求书中公布了:1.一种提高晶片平整度的凸型陶瓷盘和环形带大盘,其特征在于:包括凸型陶瓷盘1和环形带大盘2,所述凸型陶瓷盘1底部的晶片安装面为具有预设凸度的弧形凸起面;所述环形带大盘2包括大盘21和用于调整抛光大盘盘型的环形带22,所述环形带22同圆心安装在所述大盘21的上表面,所述环形带22的截面呈阶梯状等腰梯形状或矩形状;所述凸型陶瓷盘1可转动的设置在所述环形带大盘2上方且与所述环形带大盘2相对应。
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