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龙图腾网获悉常熟市兆恒众力精密机械有限公司申请的专利一种泛半导体薄膜沉积设备反应腔超大型上下板加工装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224133154U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520989916.8，技术领域涉及：C23C14/00；该实用新型一种泛半导体薄膜沉积设备反应腔超大型上下板加工装置是由杨鹏;王建飞设计研发完成，并于2025-05-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种泛半导体薄膜沉积设备反应腔超大型上下板加工装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种泛半导体薄膜沉积设备反应腔超大型上下板加工装置，包括：底板和定位旋转支架，所述底板中间设有中心定位孔；所述定位旋转支架包括上框、下框和支撑柱，所述上框是中间设置上十字加强梁的正方形框架，所述下框是中间设置下十字加强梁的正方形框架，所述上框和下框之间通过支撑柱连接，所述下十字加强梁的中心下方安装定位旋转轴承，所述下框的每个框边的中间下方都安装内支撑脚，所述下框的四个顶角下方都安装外支撑脚，每个内支撑脚和外支撑脚都安装有滚轮，所述上框的上表面上设有多个工件托板，每个工件托板上都放置柔性垫板。通过上述方式，本实用新型能够减少人工工时，提高加工效率，保证最终加工精度的稳定性。

本实用新型一种泛半导体薄膜沉积设备反应腔超大型上下板加工装置在权利要求书中公布了：1.一种泛半导体薄膜沉积设备反应腔超大型上下板加工装置，其特征在于，包括：底板和定位旋转支架，所述底板中间设有中心定位孔，所述定位旋转支架安装在所述底板上； 所述定位旋转支架是由方钢管焊接而成的框架结构，包括上框、下框和支撑柱，所述上框和下框是尺寸相同的正方形框架，所述上框中间设置上十字加强梁，所述下框中间设置下十字加强梁，所述上框和下框之间通过所述支撑柱连接，所述支撑柱共有9个，4个布设在所述上框与下框之间两两相对的顶角之间，4个布设在所述上框每个框边的中点与所述下框的相应框边的中点之间，一个布设在所述上十字加强梁与所述下十字加强梁的交叉点之间，所述下十字加强梁的中心交叉点下方安装有轴承座，所述轴承座上安装能与所述底板的中心定位孔的尺寸相匹配的定位旋转轴承，所述下框的每个框边的中间下方都安装有内支撑脚，所述下框的四个顶角的下方都安装有外支撑脚，每个内支撑脚和外支撑脚的底部都安装有滚轮，所述上框的上表面对应每个支撑柱顶部正上方的位置都设有工件托板，每个工件托板上都放置一块柔性垫板。

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