深圳市笙歌等离子渗入技术有限公司马胜歌获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市笙歌等离子渗入技术有限公司申请的专利一种物理气相沉积装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224133156U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521039227.7，技术领域涉及：C23C14/24；该实用新型一种物理气相沉积装置是由马胜歌设计研发完成，并于2025-05-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种物理气相沉积装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及材料加工技术领域，尤其涉及一种物理气相沉积装置。本实用新型提供了这样一种物理气相沉积装置，包括有真空室、隔离板、拧杆、密封垫、气体导入系统、冷却系统和蒸发源，真空室前侧转动式设置有隔离板，隔离板左侧螺纹式设置有拧杆，拧杆与真空室螺纹连接，真空室前侧嵌入式设置有密封垫，密封垫与隔离板紧密接触，真空室右侧设置有气体导入系统，真空室右侧设置有冷却系统，真空室内部设置有蒸发源。通过气体导入系统将工艺气体如惰性气体或反应气体通入固定板，气体随后经由多块导气板均匀分散至真空室内，确保沉积气体在工件表面分布均匀，从而提高镀膜质量。
本实用新型一种物理气相沉积装置在权利要求书中公布了：1.一种物理气相沉积装置，包括有真空室1、隔离板2、拧杆3、密封垫4、气体导入系统5、冷却系统6和蒸发源7，真空室1前侧转动式设置有隔离板2，隔离板2左侧螺纹式设置有拧杆3，拧杆3与真空室1螺纹连接，真空室1前侧嵌入式设置有密封垫4，密封垫4与隔离板2紧密接触，真空室1右侧设置有气体导入系统5，真空室1右侧设置有冷却系统6，真空室1内部设置有蒸发源7，其特征是：还包括有固定板8、导气板9和导风板10，真空室1内顶部固定连接有固定板8，气体导入系统5与固定板8连通，固定板8内部固定连接有多块导气板9，冷却系统6靠近真空室1的一侧设置有多块导风板10。
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