深圳市新凯来工业机器有限公司张育斌获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市新凯来工业机器有限公司申请的专利粒子筛选装置和薄膜沉积设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224133164U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520951760.4,技术领域涉及:C23C14/54;该实用新型粒子筛选装置和薄膜沉积设备是由张育斌;王凤晨;何昶昆设计研发完成,并于2025-05-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本粒子筛选装置和薄膜沉积设备在说明书摘要公布了:本申请提供粒子筛选装置和薄膜沉积设备,涉及半导体设备技术领域,用于解决如何提高粒子筛选装置的适用性的问题。具体的,该粒子筛选装置包括多个筛选件,多个筛选件层叠设置,每个筛选件阵列设置有筛选孔,多个筛选件的筛选孔连通。
本实用新型粒子筛选装置和薄膜沉积设备在权利要求书中公布了:1.一种粒子筛选装置,其特征在于,包括多个筛选件,多个筛选件层叠设置,每个所述筛选件阵列设置有筛选孔,多个所述筛选件的所述筛选孔连通。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳市新凯来工业机器有限公司,其通讯地址为:518111 广东省深圳市龙岗区平湖街道山厦社区中环大道中科谷产业园6栋1301;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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