光驰科技(上海)有限公司余海春获国家专利权
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龙图腾网获悉光驰科技(上海)有限公司申请的专利一种真空腔室及真空处理设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224133165U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521031751.X，技术领域涉及：C23C14/56；该实用新型一种真空腔室及真空处理设备是由余海春;戴晓东;高文晶设计研发完成，并于2025-05-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空腔室及真空处理设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及真空处理技术领域，具体公开了一种真空腔室及真空处理设备，该真空腔室包括腔室机构、传输驱动机构和旋转驱动机构；腔室机构包括腔室本体、第一开关门和第二开关门，腔室本体沿第一方向的相对两侧均设置有安装口，第一开关门和第二开关门能够一一对应打开或封闭两个安装口；腔室本体沿第二方向的相对两侧均设置有进出口；传输驱动机构设于腔室本体；旋转驱动机构设于腔室本体。本实用新型中的真空腔室通用性强，在面对多腔室的真空处理设备时，安装一致性高，能够简化装配，提高设备的前期交付速度和后期维护效率，腔室备库简单，维修成本及等待物料成本较低，不会产生混乱而导致设备生产中断较长时间的问题。
本实用新型一种真空腔室及真空处理设备在权利要求书中公布了：1.一种真空腔室，能够运输基片装载机构6，所述基片装载机构6包括运输框架61和转动设于所述运输框架61内的旋转架62，所述旋转架62用于装载基板，其特征在于，所述真空腔室包括： 腔室机构1，所述腔室机构1包括腔室本体11、第一开关门12和第二开关门13，所述腔室本体11沿第一方向的相对两侧均设置有安装口111，所述第一开关门12和所述第二开关门13能够一一对应打开或封闭两个所述安装口111；所述腔室本体11沿第二方向的相对两侧均设置有进出口112； 传输驱动机构2，所述传输驱动机构2设于所述腔室本体11，用于沿所述第二方向移动所述基片装载机构6，以使所述基片装载机构6由所述进出口112进入或退出所述腔室本体11； 旋转驱动机构3，所述旋转驱动机构3设于所述腔室本体11，用于可拆卸连接并驱动所述腔室本体11内的所述旋转架62相对于所述运输框架61旋转。
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