楚赟精工科技(上海)有限公司巩前程获国家专利权
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龙图腾网获悉楚赟精工科技(上海)有限公司申请的专利气相沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224133168U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202323579982.8，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型气相沉积设备是由巩前程设计研发完成，并于2023-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本气相沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种气相沉积设备，包括设于腔体顶部的进气装置；导流装置沿腔体周向设置且一端围绕进气装置的出气侧以围成供气体通过的通道；侧部加热装置位于导流装置和腔体的外壁之间，并围设于导流装置外；顶部支架位于侧部加热装置上方，且一端装配于导流装置侧部，另一端朝腔体侧壁延伸；第一隔热装置设于由导流装置的顶部、顶部支架和腔体顶部所围成的结构内。本实用新型提供的气相沉积设备的第一隔热装置设于由导流装置的顶部、顶部支架和腔体顶部所围成的结构内，使顶部支架能够支撑第一隔热装置并通过第一隔热装置减少或阻挡位于顶部支架下方的侧部加热装置向腔体顶部的传热，从而减少或避免反应气体在喷淋出气侧附近发生预反应。
本实用新型气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种气相沉积设备，其特征在于，包括腔体、进气装置，以及设于所述腔体内的导流装置、侧部加热装置、第一隔热装置和顶部支架； 所述进气装置设于所述腔体的顶部； 所述导流装置沿所述腔体周向设置且一端围绕所述进气装置的出气侧以围成供气体通过的通道； 所述侧部加热装置位于所述导流装置和所述腔体的外壁之间，并围设于所述导流装置外； 所述顶部支架位于所述侧部加热装置上方，且一端装配于所述导流装置侧部，另一端朝所述腔体侧壁延伸； 所述第一隔热装置设于由所述导流装置的顶部、所述顶部支架和所述腔体顶部所围成的结构内。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人楚赟精工科技(上海)有限公司，其通讯地址为：201210 上海市浦东新区三灶路500号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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